Као што је горе приказано, типично је
Прво полувреме:
▪ Грејни елемент (грејна спирала):
налази се око цеви пећи, обично направљен од отпорних жица, користи се за загревање унутрашњости цеви пећи.
▪ Кварцна цев:
Језгро пећи за врућу оксидацију, направљено од кварца високе чистоће који може да издржи високе температуре и остане хемијски инертан.
▪ Довод гаса:
Налази се на горњем или бочном делу цеви пећи и користи се за транспорт кисеоника или других гасова у унутрашњост цеви пећи.
▪ Прирубница од нерђајућег челика:
компоненте које повезују кварцне цеви и гасоводе, обезбеђујући чврстоћу и стабилност везе.
▪ Гасоводи:
Цеви које повезују МФЦ са портом за довод гаса ради преноса гаса.
▪ MFC (Контролер масеног протока):
Уређај који контролише проток гаса унутар кварцне цеви како би прецизно регулисао потребну количину гаса.
▪ Вентилација:
Користи се за одвод издувних гасова из унутрашњости цеви пећи ка спољашњости опреме.
Доњи део:
▪ Силицијумске плочице у држачу:
Силицијумске плочице се налазе у посебном држачу како би се осигурала равномерна топлота током оксидације.
▪ Држач за вафле:
Користи се за држање силицијумске плочице и осигуравање да силицијумска плочица остане стабилна током процеса.
▪ Постоље:
Структура која држи држач силицијумске плочице, обично направљена од материјала отпорног на високе температуре.
▪ Лифт:
Користи се за подизање држача плочица у и из кварцних цеви за аутоматско пуњење и истовар силицијумских плочица.
▪ Робот за пренос плочица:
Налази се са стране уређаја цеви пећи, користи се за аутоматско уклањање силицијумске плочице из кутије и постављање у цев пећи или за уклањање након обраде.
▪ Вртешка за складиштење касета:
Карусел за складиштење касета се користи за складиштење кутије која садржи силицијумске плочице и може се ротирати за приступ робота.
▪ Касета са плочицом:
Касета за плочице се користи за складиштење и пренос силицијумских плочица које се обрађују.
Време објаве: 22. април 2024.