ఫర్నేస్ ట్యూబ్ పరికరాల అంతర్గత నిర్మాణం వివరంగా వివరించబడింది

పైన చూపిన విధంగా, ఒక సాధారణమైనది

మొదటి భాగం:

▪ తాపన మూలకం (తాపన కాయిల్) :

ఫర్నేస్ ట్యూబ్ లోపలి భాగాన్ని వేడి చేయడానికి, సాధారణంగా నిరోధక తీగలతో తయారు చేయబడి, ఫర్నేస్ ట్యూబ్ చుట్టూ అమర్చబడి ఉంటుంది.

▪ క్వార్ట్జ్ ట్యూబ్:

అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగల మరియు రసాయనికంగా జడంగా ఉండగల అధిక స్వచ్ఛత గల క్వార్ట్జ్‌తో తయారు చేయబడిన వేడి ఆక్సీకరణ కొలిమి యొక్క ప్రధాన భాగం.

▪ గ్యాస్ ఫీడ్:

ఫర్నేస్ ట్యూబ్ యొక్క పైభాగంలో లేదా పక్కన ఉండే దీనిని, ఆక్సిజన్ లేదా ఇతర వాయువులను ఫర్నేస్ ట్యూబ్ లోపలికి రవాణా చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.

▪ SS ఫ్లాంజ్:

క్వార్ట్జ్ ట్యూబ్‌లు మరియు గ్యాస్ లైన్‌లను అనుసంధానించే భాగాలు, కనెక్షన్ యొక్క బిగుతు మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తాయి.

▪ గ్యాస్ ఫీడ్ లైన్లు:

గ్యాస్ ప్రసారం కోసం MFCని గ్యాస్ సరఫరా పోర్ట్‌కు అనుసంధానించే పైపులు.

▪ MFC (మాస్ ఫ్లో కంట్రోలర్) :

అవసరమైన గ్యాస్ పరిమాణాన్ని ఖచ్చితంగా నియంత్రించడానికి క్వార్ట్జ్ ట్యూబ్ లోపల గ్యాస్ ప్రవాహాన్ని నియంత్రించే పరికరం.

▪ వెంట్:

కొలిమి గొట్టం లోపలి నుండి వెలువడే వాయువును పరికరం బయటకు పంపడానికి ఉపయోగిస్తారు.

దిగువ భాగం:

▪ హోల్డర్‌లో సిలికాన్ వేఫర్లు:

ఆక్సీకరణ సమయంలో ఉష్ణం ఏకరీతిగా ఉండేలా చూసేందుకు సిలికాన్ వేఫర్‌లను ఒక ప్రత్యేక హోల్డర్‌లో ఉంచుతారు.

▪ వేఫర్ హోల్డర్:

సిలికాన్ వేఫర్‌ను పట్టుకోవడానికి మరియు ప్రక్రియ సమయంలో సిలికాన్ వేఫర్ స్థిరంగా ఉండేలా చూసుకోవడానికి ఉపయోగిస్తారు.

▪ పీఠం:

సిలికాన్ వేఫర్‌ను పట్టుకొని ఉంచే నిర్మాణం హోల్డర్, సాధారణంగా అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధక పదార్థంతో తయారు చేయబడుతుంది.

▪ ఎలివేటర్:

సిలికాన్ వేఫర్‌లను ఆటోమేటిక్‌గా లోడ్ చేయడానికి మరియు అన్‌లోడ్ చేయడానికి, వేఫర్ హోల్డర్‌లను క్వార్ట్జ్ ట్యూబ్‌లలోకి మరియు బయటకు ఎత్తడానికి ఉపయోగిస్తారు.

▪ వేఫర్ బదిలీ రోబోట్:

ఫర్నేస్ ట్యూబ్ పరికరం యొక్క పక్కన అమర్చబడి ఉండే దీనిని, సిలికాన్ వేఫర్‌ను బాక్స్ నుండి ఆటోమేటిక్‌గా తీసి ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లో ఉంచడానికి లేదా ప్రాసెసింగ్ తర్వాత దానిని తొలగించడానికి ఉపయోగిస్తారు.