A estrutura interna do equipamento tubular do forno é explicada em detalhes.

Como mostrado acima, é um típico

A primeira metade:

▪ Elemento de aquecimento (bobina de aquecimento):

Localizado ao redor do tubo do forno, geralmente feito de fios de resistência, usado para aquecer o interior do tubo do forno.

▪ Tubo de quartzo:

O núcleo de um forno de oxidação a quente é feito de quartzo de alta pureza, capaz de suportar altas temperaturas e permanecer quimicamente inerte.

▪ Alimentação de gás:

Localizado na parte superior ou lateral do tubo do forno, ele é usado para transportar oxigênio ou outros gases para o interior do tubo do forno.

▪ Flange SS:

Componentes que conectam tubos de quartzo e linhas de gás, garantindo a estanqueidade e a estabilidade da conexão.

▪ Linhas de alimentação de gás:

Tubulações que conectam o MFC à porta de fornecimento de gás para transmissão de gás.

▪ MFC (Controlador de Fluxo de Massa):

Um dispositivo que controla o fluxo de gás dentro de um tubo de quartzo para regular com precisão a quantidade de gás necessária.

▪ Ventilação:

Utilizado para expelir os gases de escape do interior do tubo do forno para o exterior do equipamento.

Parte inferior:

▪ Pastilhas de silício no suporte:

As lâminas de silício são alojadas em um suporte especial para garantir aquecimento uniforme durante a oxidação.

▪ Suporte para wafers:

Utilizado para segurar a pastilha de silício e garantir que ela permaneça estável durante o processo.

▪ Pedestal:

Uma estrutura que sustenta um wafer de silício. Suporte, geralmente feito de material resistente a altas temperaturas.

▪ Elevador:

Utilizado para elevar suportes de wafers para dentro e para fora de tubos de quartzo para carregamento e descarregamento automático de wafers de silício.

▪ Robô de Transferência de Wafer:

Localizado na lateral do dispositivo do tubo do forno, ele é usado para remover automaticamente a pastilha de silício da caixa e colocá-la no tubo do forno, ou removê-la após o processamento.