Ahjutoru seadmete sisemist struktuuri selgitatakse üksikasjalikult

Nagu eespool näidatud, on see tüüpiline

Esimene pool:

▪ Kütteelement (küttespiraal):

Ahju toru ümber paiknevad, tavaliselt takistustraatidest valmistatud ja neid kasutatakse ahju toru sisemuse soojendamiseks.

▪ Kvartstoru:

Kuumoksüdatsiooniahju südamik, mis on valmistatud kõrge puhtusastmega kvartsist, mis talub kõrgeid temperatuure ja jääb keemiliselt inertseks.

▪ Gaasi etteanne:

See asub ahju toru ülaosas või küljel ja seda kasutatakse hapniku või muude gaaside transportimiseks ahju toru sisemusse.

▪ Roostevabast terasest äärik:

komponendid, mis ühendavad kvartstorusid ja gaasijuhtmeid, tagades ühenduse tiheduse ja stabiilsuse.

▪ Gaasitorud:

Torud, mis ühendavad MFC-d gaasi edastamiseks gaasivarustuspordiga.

▪ MFC (massivoolu regulaator):

Seade, mis kontrollib gaasi voolu kvartstorus, et täpselt reguleerida vajaliku gaasi kogust.

▪ Ventilatsiooniava:

Kasutatakse heitgaaside väljajuhtimiseks ahju toru seest seadmest välja.

Alumine osa:

▪ Räniplaadid hoidikus:

Räniplaadid on spetsiaalses hoidikus, et tagada oksüdeerimise ajal ühtlane kuumus.

▪ Vahvlihoidik:

Kasutatakse ränivahvli hoidmiseks ja selle stabiilsuse tagamiseks protsessi ajal.

▪ Alus:

Räniplaadi hoidik, mis on tavaliselt valmistatud kõrgele temperatuurile vastupidavast materjalist.

▪ Lift:

Kasutatakse vahvlihoidjate kvartstorudesse tõstmiseks ja sealt väljavõtmiseks ränivahvlite automaatseks laadimiseks ja mahalaadimiseks.

▪ Vahvliülekande robot:

Ahjutoru seadme küljel asuv seade on ette nähtud ränivahvli automaatseks karbist eemaldamiseks ja ahjutorusse asetamiseks või töötlemise järgseks eemaldamiseks.

▪ Kassettide hoiukarussell:

Kassettide hoiukarusselli kasutatakse räniplaate sisaldava kasti hoidmiseks ja seda saab roboti juurdepääsuks pöörata.

▪ Vahvlikassett:

Vahvlikassetti kasutatakse töödeldavate ränivahvlite hoidmiseks ja transportimiseks.