Η εσωτερική δομή του εξοπλισμού σωλήνων κλιβάνου εξηγείται λεπτομερώς

Όπως φαίνεται παραπάνω, είναι ένα τυπικό

Το πρώτο ημίχρονο:

▪ Στοιχείο θέρμανσης (θερμαντικό πηνίο):

που βρίσκεται γύρω από τον σωλήνα του κλιβάνου, συνήθως κατασκευασμένος από σύρματα αντίστασης, και χρησιμοποιείται για τη θέρμανση του εσωτερικού του σωλήνα του κλιβάνου.

▪ Σωλήνας χαλαζία:

Ο πυρήνας ενός κλιβάνου θερμής οξείδωσης, κατασκευασμένος από χαλαζία υψηλής καθαρότητας που μπορεί να αντέξει σε υψηλές θερμοκρασίες και να παραμείνει χημικά αδρανής.

▪ Τροφοδοσία αερίου:

Βρίσκεται στο πάνω ή στο πλάι του σωλήνα του κλιβάνου και χρησιμοποιείται για τη μεταφορά οξυγόνου ή άλλων αερίων στο εσωτερικό του σωλήνα του κλιβάνου.

▪ Φλάντζα SS:

εξαρτήματα που συνδέουν σωλήνες χαλαζία και γραμμές αερίου, εξασφαλίζοντας τη στεγανότητα και τη σταθερότητα της σύνδεσης.

▪ Γραμμές τροφοδοσίας αερίου:

Σωλήνες που συνδέουν το MFC με τη θύρα τροφοδοσίας αερίου για τη μεταφορά αερίου.

▪ MFC (Ελεγκτής Ροής Μάζας):

Μια συσκευή που ελέγχει τη ροή αερίου μέσα σε έναν σωλήνα χαλαζία για να ρυθμίσει με ακρίβεια την ποσότητα αερίου που απαιτείται.

▪ Αεραγωγός:

Χρησιμοποιείται για την εξαέρωση των καυσαερίων από το εσωτερικό του σωλήνα του κλιβάνου προς το εξωτερικό του εξοπλισμού.

Κάτω μέρος:

▪ Δισκία πυριτίου σε θήκη:

Οι γκοφρέτες πυριτίου στεγάζονται σε μια ειδική θήκη για να εξασφαλίζεται ομοιόμορφη θερμότητα κατά την οξείδωση.

▪ Βάση για πλακίδια:

Χρησιμοποιείται για τη συγκράτηση της πλακέτας πυριτίου και για να διασφαλίζεται ότι η πλακέτα πυριτίου παραμένει σταθερή κατά τη διάρκεια της διαδικασίας.

▪ Βάθρο:

Μια δομή που συγκρατεί μια βάση πλακιδίων πυριτίου, συνήθως κατασκευασμένη από υλικό ανθεκτικό στις υψηλές θερμοκρασίες.

▪ Ασανσέρ:

Χρησιμοποιείται για την ανύψωση των βάσεων πλακιδίων μέσα και έξω από σωλήνες χαλαζία για αυτόματη φόρτωση και εκφόρτωση πλακιδίων πυριτίου.

▪ Ρομπότ Μεταφοράς Γκοφρετών:

Βρίσκεται στο πλάι της συσκευής σωλήνα κλιβάνου, χρησιμοποιείται για την αυτόματη αφαίρεση της γκοφρέτας πυριτίου από το κουτί και την τοποθέτησή της στον σωλήνα κλιβάνου ή για την αφαίρεσή της μετά την επεξεργασία.

▪ Καρουζέλ Αποθήκευσης Κασέτας:

Το καρουζέλ αποθήκευσης κασέτας χρησιμοποιείται για την αποθήκευση ενός κουτιού που περιέχει πλακίδια πυριτίου και μπορεί να περιστραφεί για πρόσβαση από το ρομπότ.