ഫർണസ് ട്യൂബ് ഉപകരണങ്ങളുടെ ആന്തരിക ഘടന വിശദമായി വിവരിച്ചിരിക്കുന്നു.

മുകളിൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നതുപോലെ, ഒരു സാധാരണമാണ്

ആദ്യ പകുതി:

▪ ചൂടാക്കൽ ഘടകം (താപന കോയിൽ) :

ഫർണസ് ട്യൂബിന് ചുറ്റും സ്ഥിതിചെയ്യുന്നു, സാധാരണയായി റെസിസ്റ്റൻസ് വയറുകൾ കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ചതാണ്, ഫർണസ് ട്യൂബിന്റെ ഉൾഭാഗം ചൂടാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

▪ ക്വാർട്സ് ട്യൂബ്:

ഉയർന്ന താപനിലയെ നേരിടാനും രാസപരമായി നിഷ്ക്രിയമായി തുടരാനും കഴിയുന്ന ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ക്വാർട്സ് കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച ചൂടുള്ള ഓക്സിഡേഷൻ ചൂളയുടെ കാമ്പ്.

▪ ഗ്യാസ് ഫീഡ്:

ഫർണസ് ട്യൂബിന്റെ മുകളിലോ വശത്തോ സ്ഥിതി ചെയ്യുന്ന ഇത്, ഓക്സിജനോ മറ്റ് വാതകങ്ങളോ ഫർണസ് ട്യൂബിന്റെ ഉള്ളിലേക്ക് കൊണ്ടുപോകാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

▪ എസ്എസ് ഫ്ലേഞ്ച്:

ക്വാർട്സ് ട്യൂബുകളെയും ഗ്യാസ് ലൈനുകളെയും ബന്ധിപ്പിക്കുന്ന ഘടകങ്ങൾ, കണക്ഷന്റെ ഇറുകിയതും സ്ഥിരതയും ഉറപ്പാക്കുന്നു.

▪ ഗ്യാസ് ഫീഡ് ലൈനുകൾ:

ഗ്യാസ് ട്രാൻസ്മിഷനു വേണ്ടി MFC യെ ഗ്യാസ് സപ്ലൈ പോർട്ടുമായി ബന്ധിപ്പിക്കുന്ന പൈപ്പുകൾ.

▪ MFC (മാസ് ഫ്ലോ കൺട്രോളർ) :

ഒരു ക്വാർട്സ് ട്യൂബിനുള്ളിലെ വാതകപ്രവാഹം നിയന്ത്രിക്കുന്നതിനും ആവശ്യമായ വാതകത്തിന്റെ അളവ് കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കുന്നതിനും ഉപയോഗിക്കുന്ന ഉപകരണം.

▪ വെന്റ്:

ഫർണസ് ട്യൂബിനുള്ളിൽ നിന്ന് ഉപകരണത്തിന്റെ പുറത്തേക്ക് എക്‌സ്‌ഹോസ്റ്റ് വാതകം പുറന്തള്ളാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

താഴത്തെ ഭാഗം:

▪ ഹോൾഡറിലെ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ:

ഓക്സിഡേഷൻ സമയത്ത് ഏകീകൃത താപം ഉറപ്പാക്കാൻ സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ ഒരു പ്രത്യേക ഹോൾഡറിൽ സൂക്ഷിച്ചിരിക്കുന്നു.

▪ വേഫർ ഹോൾഡർ:

സിലിക്കൺ വേഫർ പിടിക്കാനും പ്രക്രിയയ്ക്കിടെ സിലിക്കൺ വേഫർ സ്ഥിരതയുള്ളതായി ഉറപ്പാക്കാനും ഉപയോഗിക്കുന്നു.

▪ പീഠം:

ഉയർന്ന താപനിലയെ പ്രതിരോധിക്കുന്ന ഒരു വസ്തു കൊണ്ട് നിർമ്മിച്ച, സിലിക്കൺ വേഫർ ഹോൾഡർ ഉൾക്കൊള്ളുന്ന ഒരു ഘടന.

▪ ലിഫ്റ്റ്:

സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ ഓട്ടോമാറ്റിക്കായി ലോഡുചെയ്യുന്നതിനും ഇറക്കുന്നതിനും വേണ്ടി ക്വാർട്സ് ട്യൂബുകളിലേക്കും പുറത്തേക്കും വേഫർ ഹോൾഡറുകൾ ഉയർത്താൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

▪ വേഫർ ട്രാൻസ്ഫർ റോബോട്ട്:

ഫർണസ് ട്യൂബ് ഉപകരണത്തിന്റെ വശത്ത് സ്ഥിതി ചെയ്യുന്ന ഇത്, ബോക്സിൽ നിന്ന് സിലിക്കൺ വേഫർ സ്വയമേവ നീക്കം ചെയ്ത് ഫർണസ് ട്യൂബിൽ സ്ഥാപിക്കുന്നതിനോ അല്ലെങ്കിൽ പ്രോസസ്സിംഗിന് ശേഷം നീക്കം ചെയ്യുന്നതിനോ ഉപയോഗിക്കുന്നു.