די אינערלעכע סטרוקטור פון די אויוון רער עקוויפּמענט איז דערקלערט אין דעטאַל

ווי געוויזן אויבן, איז אַ טיפּיש

די ערשטע העלפט:

▪ הייצונג עלעמענט (הייצונג שפּול):

ליגן אַרום די אויוון רער, געוויינטלעך געמאכט פון קעגנשטעל דראָטן, געניצט צו הייצן די אינעווייניק פון די אויוון רער.

▪ קוואַרץ רער:

דער קערן פון אַ הייסן אָקסידאַציע אויוון, געמאַכט פון הויך-ריינקייט קוואַרץ וואָס קען אַנטקעגנשטעלן הויכע טעמפּעראַטורן און בלייבן כעמיש ינערט.

▪ גאַז צופֿיר:

געפינען זיך ביים אויבערשטן אדער זייט פון דער אויוון רער, ווערט עס גענוצט צו טראנספארטירן זויערשטאָף אדער אנדערע גאַזן צום אינעווייניק פון דער אויוון רער.

▪ SS פלאַנדזש:

קאָמפּאָנענטן וואָס פֿאַרבינדן קוואַרץ רערן און גאַז ליניעס, וואָס ענשורז די טייטנאַס און פעסטקייט פון דער פֿאַרבינדונג.

▪ גאַז צופֿיר ליניעס:

רערן וואָס פאַרבינדן דעם MFC צום גאַז צושטעל פּאָרט פֿאַר גאַז טראַנסמיסיע.

▪ MFC (מאַסע פלוס קאָנטראָללער):

א מיטל וואָס קאָנטראָלירט דעם פלוס פון גאַז אין אַ קוואַרץ רער צו פּינקטלעך רעגולירן די נויטיקע מאָס גאַז.

▪ ווענטילאַציע:

געניצט צו ווענטילירן די אויספּוסט גאַז פון אינעווייניק פון די אויוון רער צו די אַרויס פון די עקוויפּמענט.

אונטערשטער טייל:

▪ סיליקאָן וועיפערס אין האָלדער:

סיליקאָן וועיפערס זענען געהאַלטן אין אַ ספּעציעלן האָלדער צו ענשור אַ מונדיר היץ בעת אַקסאַדיישאַן.

▪ וואַפער האָלדער:

געניצט צו האַלטן די סיליקאָן וועיפער און ענשור אַז די סיליקאָן וועיפער בלייבט סטאַביל בעת דעם פּראָצעס.

▪ פּיעדעסטאַל:

א סטרוקטור וואָס האַלט אַ סיליקאָן וועיפער האָלדער, געוויינטלעך געמאַכט פון אַ הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעליק מאַטעריאַל.

▪ ליפט:

געניצט צו הייבן וועיפער האָלדערס אין און ארויס פון קוואַרץ רערן פֿאַר אויטאָמאַטיש לאָודינג און אַנלאָודינג פון סיליקאָן וועיפערס.

▪ וועיפער טראַנספער ראָבאָט:

ליגן אויף דער זייט פון די אויוון רער מיטל, עס איז געניצט צו אויטאָמאַטיש אַראָפּנעמען די סיליקאָן וועיפער פון דער קעסטל און שטעלן עס אין די אויוון רער, אָדער אַראָפּנעמען עס נאָך פּראַסעסינג.