De interne structuur van de ovenbuisapparatuur wordt gedetailleerd uitgelegd.

Zoals hierboven weergegeven, is dit een typische

De eerste helft:

▪ Verwarmingsspiraal (verwarmingselement):

Deze bevindt zich rond de ovenbuis en bestaat meestal uit weerstandsdraden die worden gebruikt om de binnenkant van de ovenbuis te verwarmen.

▪ Kwartsbuis:

De kern van een hete oxidatieoven, gemaakt van zeer zuiver kwarts dat bestand is tegen hoge temperaturen en chemisch inert blijft.

▪ Gastoevoer:

Het bevindt zich aan de boven- of zijkant van de ovenbuis en wordt gebruikt om zuurstof of andere gassen naar de binnenkant van de ovenbuis te transporteren.

▪ RVS-flens:

Onderdelen die kwartsbuizen en gasleidingen met elkaar verbinden en de dichtheid en stabiliteit van de verbinding garanderen.

▪ Gasleidingen:

Leidingen die de MFC verbinden met de gastoevoerpoort voor gastransport.

▪ MFC (Mass Flow Controller):

Een apparaat dat de gasstroom in een kwartsbuis regelt om de benodigde hoeveelheid gas nauwkeurig af te meten.

▪ Ventilatie:

Wordt gebruikt om de uitlaatgassen vanuit de ovenbuis naar de buitenkant van het apparaat af te voeren.

Onderste deel:

▪ Siliciumwafels in houder:

De siliciumwafers zijn ondergebracht in een speciale houder om een gelijkmatige warmteverdeling tijdens de oxidatie te garanderen.

▪ Waferhouder:

Wordt gebruikt om de siliciumwafel vast te houden en ervoor te zorgen dat deze stabiel blijft tijdens het proces.

▪ Sokkel:

Een structuur die een siliciumwafelhouder vasthoudt, meestal gemaakt van een hittebestendig materiaal.

▪ Lift:

Wordt gebruikt om waferhouders in en uit kwartsbuizen te tillen voor het automatisch laden en lossen van siliciumwafers.

▪ Wafertransferrobot:

Dit onderdeel bevindt zich aan de zijkant van het ovenbuisapparaat en wordt gebruikt om de siliciumwafer automatisch uit de doos te halen en in de ovenbuis te plaatsen, of om deze na de verwerking te verwijderen.