Como se muestra arriba, es un ejemplo típico.
La primera mitad:
▪ Elemento calefactor (bobina calefactora):
Ubicados alrededor del tubo del horno, generalmente hechos de cables de resistencia, se utilizan para calentar el interior del tubo del horno.
▪ Tubo de cuarzo:
El núcleo de un horno de oxidación en caliente está fabricado con cuarzo de alta pureza, capaz de soportar altas temperaturas y permanecer químicamente inerte.
▪ Suministro de gas:
Situado en la parte superior o lateral del tubo del horno, se utiliza para transportar oxígeno u otros gases al interior del tubo del horno.
▪ Brida de acero inoxidable:
Componentes que conectan los tubos de cuarzo y las líneas de gas, garantizando la estanqueidad y la estabilidad de la conexión.
▪ Líneas de suministro de gas:
Tuberías que conectan el MFC con el puerto de suministro de gas para la transmisión del mismo.
▪ MFC (Controlador de flujo másico):
Un dispositivo que controla el flujo de gas dentro de un tubo de cuarzo para regular con precisión la cantidad de gas necesaria.
▪ Desahogo:
Se utiliza para ventilar los gases de escape desde el interior del tubo del horno hacia el exterior del equipo.
Parte inferior:
▪ Obleas de silicio en soporte:
Las obleas de silicio se alojan en un soporte especial para garantizar un calentamiento uniforme durante la oxidación.
▪ Soporte para obleas:
Se utiliza para sujetar la oblea de silicio y garantizar que esta permanezca estable durante el proceso.
▪ Pedestal:
Estructura que sostiene un soporte para obleas de silicio, generalmente fabricada con un material resistente a altas temperaturas.
▪ Ascensor:
Se utiliza para introducir y extraer los soportes de obleas de los tubos de cuarzo para la carga y descarga automática de obleas de silicio.
▪ Robot de transferencia de obleas:
Situado en el lateral del tubo del horno, se utiliza para extraer automáticamente la oblea de silicio de la caja y colocarla en el tubo del horno, o para extraerla después del procesamiento.
▪ Carrusel para almacenamiento de casetes:
El carrusel de almacenamiento de casetes se utiliza para guardar una caja que contiene obleas de silicio y puede girarse para permitir el acceso de los robots.
▪ Cassette de oblea:
El casete para obleas se utiliza para almacenar y transferir las obleas de silicio que se van a procesar.
Fecha de publicación: 22 de abril de 2024