Come mostrato sopra, è un tipico
La prima metà:
▪ Elemento riscaldante (serpentina riscaldante):
Situati attorno al tubo del forno, solitamente costituiti da fili resistivi, vengono utilizzati per riscaldare l'interno del tubo del forno.
▪ Tubo al quarzo:
Il nucleo di un forno ad ossidazione calda, realizzato in quarzo ad elevata purezza, in grado di resistere alle alte temperature e di rimanere chimicamente inerte.
▪ Alimentazione del gas:
Situato nella parte superiore o laterale del tubo del forno, viene utilizzato per trasportare ossigeno o altri gas all'interno del tubo del forno.
▪ Flangia in acciaio inox:
Componenti che collegano i tubi di quarzo e le condotte del gas, garantendo la tenuta e la stabilità del collegamento.
▪ Condotte di alimentazione del gas:
Tubazioni che collegano l'MFC alla porta di alimentazione del gas per il trasporto del gas.
▪ MFC (Regolatore di flusso di massa):
Un dispositivo che controlla il flusso di gas all'interno di un tubo di quarzo per regolare con precisione la quantità di gas necessaria.
▪ Sfiato:
Utilizzato per convogliare i gas di scarico dall'interno del tubo del forno verso l'esterno dell'apparecchiatura.
Parte inferiore:
▪ Wafer di silicio nel supporto:
I wafer di silicio sono alloggiati in un apposito supporto per garantire un riscaldamento uniforme durante l'ossidazione.
▪ Porta wafer:
Utilizzato per tenere fermo il wafer di silicio e garantire che rimanga stabile durante il processo.
▪ Piedistallo:
Una struttura che sostiene un wafer di silicio. Il supporto è solitamente realizzato in un materiale resistente alle alte temperature.
▪ Ascensore:
Utilizzato per sollevare i supporti per wafer all'interno e all'esterno dei tubi di quarzo, consentendo il carico e lo scarico automatico dei wafer di silicio.
▪ Robot per il trasferimento dei wafer:
Situato sul lato del dispositivo del tubo del forno, viene utilizzato per rimuovere automaticamente il wafer di silicio dalla scatola e posizionarlo nel tubo del forno, oppure per rimuoverlo dopo la lavorazione.
▪ Carosello per la conservazione delle cassette:
Il carosello per lo stoccaggio delle cassette viene utilizzato per riporre una scatola contenente wafer di silicio e può essere ruotato per consentire l'accesso ai robot.
▪ Cassetta a wafer:
La cassetta per wafer viene utilizzata per immagazzinare e trasferire i wafer di silicio da lavorare.
Data di pubblicazione: 22 aprile 2024