උදුන නල උපකරණවල අභ්‍යන්තර ව්‍යුහය විස්තරාත්මකව පැහැදිලි කර ඇත.

ඉහත දැක්වෙන පරිදි, සාමාන්‍ය වේ

පළමු භාගය:

▪ තාපන මූලද්‍රව්‍යය (තාපන දඟරය):

උදුන නළය වටා පිහිටා ඇති අතර, සාමාන්‍යයෙන් ප්‍රතිරෝධක වයර් වලින් සාදා ඇති අතර, උදුන නළයේ ඇතුළත රත් කිරීමට භාවිතා කරයි.

▪ ක්වාර්ට්ස් නළය:

උණුසුම් ඔක්සිකරණ උදුනක හරය, ඉහළ උෂ්ණත්වයන්ට ඔරොත්තු දිය හැකි සහ රසායනිකව නිෂ්ක්‍රීයව පැවතිය හැකි අධි-පිරිසිදු ක්වාර්ට්ස් වලින් සාදා ඇත.

▪ ගෑස් සැපයුම:

උදුන නලයේ ඉහළ හෝ පැත්තේ පිහිටා ඇති මෙය, ඔක්සිජන් හෝ වෙනත් වායූන් උදුන නලයේ ඇතුළතට ප්‍රවාහනය කිරීමට යොදා ගනී.

▪ SS ෆ්ලැන්ජ්:

ක්වාර්ට්ස් නල සහ ගෑස් මාර්ග සම්බන්ධ කරන සංරචක, සම්බන්ධතාවයේ තද බව සහ ස්ථාවරත්වය සහතික කරයි.

▪ ගෑස් සැපයුම් මාර්ග:

ගෑස් සම්ප්‍රේෂණය සඳහා MFC ගෑස් සැපයුම් වරායට සම්බන්ධ කරන පයිප්ප.

▪ MFC (ස්කන්ධ ප්‍රවාහ පාලකය) :

අවශ්‍ය වායු ප්‍රමාණය නිවැරදිව නියාමනය කිරීම සඳහා ක්වාර්ට්ස් නලයක් තුළ වායු ප්‍රවාහය පාලනය කරන උපකරණයකි.

▪ වාතාශ්‍රය:

උදුන නළය ඇතුළත සිට උපකරණයෙන් පිටතට පිටාර වායුව පිට කිරීමට භාවිතා කරයි.

පහළ කොටස:

▪ රඳවනයේ සිලිකන් වේෆර්:

ඔක්සිකරණයේදී ඒකාකාර තාපය සහතික කිරීම සඳහා සිලිකන් වේෆර් විශේෂ රඳවනයක තබා ඇත.

▪ වේෆර් රඳවනය:

සිලිකන් වේෆරය රඳවා තබා ගැනීමට සහ ක්‍රියාවලිය අතරතුර සිලිකන් වේෆරය ස්ථායීව පවතින බව සහතික කිරීමට භාවිතා කරයි.

▪ පදික වේදිකාව:

සාමාන්‍යයෙන් ඉහළ උෂ්ණත්වයකට ඔරොත්තු දෙන ද්‍රව්‍යයකින් සාදන ලද සිලිකන් වේෆර් රඳවනයක් රඳවා තබා ගන්නා ව්‍යුහයකි.

▪ සෝපානය:

සිලිකන් වේෆර් ස්වයංක්‍රීයව පැටවීම සහ බෑම සඳහා වේෆර් රඳවනයන් ක්වාර්ට්ස් නල තුළට සහ පිටතට එසවීමට භාවිතා කරයි.

▪ වේෆර් මාරු රොබෝ:

උදුන නල උපාංගයේ පැත්තේ පිහිටා ඇති එය, පෙට්ටියෙන් සිලිකන් වේෆරය ස්වයංක්‍රීයව ඉවත් කර උදුන නළයේ තැබීමට හෝ සැකසීමෙන් පසු ඉවත් කිරීමට භාවිතා කරයි.

▪ කැසට් ගබඩා කැරොසල්:

කැසට් ගබඩා කැරොසල් සිලිකන් වේෆර් අඩංගු පෙට්ටියක් ගබඩා කිරීම සඳහා භාවිතා කරන අතර රොබෝ ප්‍රවේශය සඳහා කරකැවිය හැක.

▪ වේෆර් කැසට් පටය:

සැකසීමට නියමිත සිලිකන් වේෆර් ගබඩා කර මාරු කිරීමට වේෆර් කැසට් භාවිතා කරයි.