Ինչպես ցույց է տրված վերևում, բնորոշ է
Առաջին կեսը.
▪ Ջեռուցման տարր (ջեռուցման կծիկ):
տեղակայված վառարանի խողովակի շուրջը, որը սովորաբար պատրաստված է դիմադրության լարերից և օգտագործվում է վառարանի խողովակի ներսը տաքացնելու համար։
▪ Քվարցե խողովակ։
Բարձր մաքրության քվարցից պատրաստված տաք օքսիդացման վառարանի միջուկը, որը կարող է դիմանալ բարձր ջերմաստիճաններին և մնալ քիմիապես իներտ։
▪ Գազի մատակարարում։
Գտնվելով վառարանի խողովակի վերին կամ կողային մասում, այն օգտագործվում է թթվածին կամ այլ գազեր վառարանի խողովակի ներս տեղափոխելու համար։
▪ SS եզրակալ։
բաղադրիչներ, որոնք միացնում են քվարցային խողովակները և գազատարները, ապահովելով միացման ամրությունն ու կայունությունը։
▪ Գազի մատակարարման գծեր՝
Խողովակներ, որոնք միացնում են MFC-ն գազի մատակարարման միացքին գազի փոխանցման համար։
▪ MFC (Զանգվածային հոսքի կարգավորիչ):
Սարք, որը կարգավորում է քվարցային խողովակի ներսում գազի հոսքը՝ անհրաժեշտ գազի քանակը ճշգրիտ կարգավորելու համար։
▪ Օդափոխություն։
Օգտագործվում է վառարանի խողովակի ներսից սարքավորման արտաքին մաս արտանետվող գազը օդափոխելու համար։
Ստորին մասը՝
▪ Սիլիկոնային վաֆլիներ պահոցի մեջ։
Սիլիկոնային վեֆլիները տեղադրված են հատուկ պահիչի մեջ՝ օքսիդացման ընթացքում միատարր ջերմությունն ապահովելու համար։
▪ Վաֆլիի պահոց։
Օգտագործվում է սիլիցիումային վաֆլի պահելու և գործընթացի ընթացքում դրա կայունությունը ապահովելու համար։
▪ Պատվանդան։
Կառուցվածք, որը պահում է սիլիկոնային վաֆլի պահիչ, որը սովորաբար պատրաստված է բարձր ջերմաստիճանակայուն նյութից։
▪ Վերելակ։
Օգտագործվում է վեֆլի պահիչները քվարցային խողովակների մեջ և դուրս բարձրացնելու համար՝ սիլիկոնային վեֆլի ավտոմատ բեռնման և բեռնաթափման համար։
▪ Վաֆլի փոխանցման ռոբոտ։
Գտնվելով վառարանի խողովակի սարքի կողքին, այն օգտագործվում է սիլիկոնային վաֆլին ավտոմատ կերպով տուփից հանելու և վառարանի խողովակի մեջ տեղադրելու կամ մշակելուց հետո այն հեռացնելու համար։
▪ Կասետների պահեստավորման կարուսել։
Կասետների պահեստավորման կարուսելը օգտագործվում է սիլիկոնային վեֆլեր պարունակող տուփ պահելու համար և կարող է պտտվել՝ ռոբոտին հասանելիություն ապահովելու համար։
▪ Վաֆլի կասետ։
Վաֆլիի կասետը օգտագործվում է մշակվող սիլիկոնային վաֆլիները պահելու և փոխանցելու համար։
Հրապարակման ժամանակը. Ապրիլի 22-2024