Pech trubkasi uskunasining ichki tuzilishi batafsil tushuntirilgan

Yuqorida ko'rsatilganidek, odatiy holdir

Birinchi bo'lim:

▪ Isitish elementi (isitish spirali):

o'choq trubkasi atrofida joylashgan, odatda o'choq trubkasining ichki qismini isitish uchun ishlatiladigan qarshilik simlaridan yasalgan.

▪ Kvarts naychasi:

Yuqori haroratga bardosh bera oladigan va kimyoviy jihatdan inert bo'lib qoladigan yuqori tozalikdagi kvartsdan tayyorlangan issiq oksidlanish pechining yadrosi.

▪ Gaz yetkazib berish:

Olovli naychaning yuqori yoki yon tomonida joylashgan bo'lib, u kislorod yoki boshqa gazlarni o'choq naychasining ichki qismiga tashish uchun ishlatiladi.

▪ SS gardish:

kvarts naychalari va gaz quvurlarini bog'laydigan komponentlar, ulanishning mahkamligi va barqarorligini ta'minlaydi.

▪ Gaz uzatish liniyalari:

Gaz uzatish uchun MFCni gaz ta'minoti portiga ulaydigan quvurlar.

▪ MFC (Massa oqimini boshqaruvchi):

Kvarts naychasi ichidagi gaz oqimini boshqaradigan va kerakli gaz miqdorini aniq tartibga soluvchi qurilma.

▪ Shamollatish teshigi:

Egzoz gazini pech trubkasi ichidan uskunaning tashqi tomoniga chiqarish uchun ishlatiladi.

Pastki qism:

▪ Qopqoqdagi kremniy plitalari:

Oksidlanish paytida bir xil issiqlikni ta'minlash uchun kremniy plitalari maxsus ushlagichga joylashtirilgan.

▪ Vafli ushlagichi:

Silikon plastinkani ushlab turish va jarayon davomida kremniy plastinkaning barqaror turishini ta'minlash uchun ishlatiladi.

▪ Poydevor:

Odatda yuqori haroratga chidamli materialdan yasalgan kremniy plastinka ushlagichini ushlab turadigan konstruktsiya.

▪ Lift:

Kvarts naychalarini avtomatik ravishda yuklash va tushirish uchun vafli ushlagichlarini kvarts naychalariga ko'tarish va chiqarish uchun ishlatiladi.

▪ Plitalar uzatish roboti:

o'choq trubkasi qurilmasining yon tomonida joylashgan bo'lib, u kremniy plastinkasini qutidan avtomatik ravishda olib tashlash va uni o'choq trubkasiga joylashtirish yoki ishlov berilgandan so'ng olib tashlash uchun ishlatiladi.