Struktur internal peralatan tabung tungku diterangake kanthi rinci

Kaya sing dituduhake ing ndhuwur, iku khas

Babak pisanan:

▪ Elemen Pemanas (koil pemanas):

dumunung ing sakubenge tabung tungku, biasane digawe saka kabel resistensi, digunakake kanggo manasi njero tabung tungku.

▪ Tabung Kuarsa:

Inti saka tungku oksidasi panas, digawe saka kuarsa kanthi kemurnian dhuwur sing bisa tahan suhu dhuwur lan tetep inert sacara kimia.

▪ Umpan Gas:

Dumunung ing sisih ndhuwur utawa sisih tabung tungku, iki digunakake kanggo ngangkut oksigen utawa gas liyane menyang sisih njero tabung tungku.

▪ Flensa SS:

komponen sing nyambungake tabung kuarsa lan saluran gas, njamin keketatan lan stabilitas sambungan kasebut.

▪ Saluran Pakan Gas:

Pipa sing nyambungake MFC menyang port pasokan gas kanggo transmisi gas.

▪ MFC (Pengontrol Aliran Massa) :

Piranti sing ngontrol aliran gas ing njero tabung kuarsa kanggo ngatur jumlah gas sing dibutuhake kanthi tepat.

▪ Ventilasi:

Digunakake kanggo ngetokake gas buangan saka njero tabung tungku menyang njaba peralatan.

Bagean ngisor:

▪ Wafer Silikon ing Wadhah:

Wafer silikon disimpen ing Wadhah khusus kanggo njamin panas sing seragam sajrone oksidasi.

▪ Wadhah Wafer:

Digunakake kanggo nyekeli wafer silikon lan njamin yen wafer silikon tetep stabil sajrone proses kasebut.

▪ Alas:

Struktur sing nyekeli wadhah wafer silikon, biasane digawe saka bahan tahan suhu dhuwur.

▪ Lift:

Digunakake kanggo ngangkat wadhah Wafer menyang lan metu saka tabung kuarsa kanggo ngunggah lan mbongkar wafer silikon kanthi otomatis.

▪ Robot Transfer Wafer:

dumunung ing sisih piranti tabung tungku, iki digunakake kanggo nyopot wafer silikon saka kothak kanthi otomatis lan dilebokake ing tabung tungku, utawa nyopot sawise diproses.

▪ Korsel Panyimpenan Kaset:

Korsel panyimpenan kaset digunakake kanggo nyimpen kothak sing isine wafer silikon lan bisa diputer kanggo akses robot.

▪ Kaset Wafer:

Kaset wafer digunakake kanggo nyimpen lan mindhah wafer silikon sing arep diproses.