Labeko hodi-ekipoen barne-egitura zehatz-mehatz azaltzen da

Goian erakusten den bezala, tipikoa da

Lehen erdia:

▪ Berogailu elementua (berogailu bobina):

labearen hodiaren inguruan kokatua, normalean erresistentzia-hariz egina, labearen hodiaren barrualdea berotzeko erabiltzen dena.

▪ Kuartzozko hodia:

Oxidazio beroko labe baten nukleoa, tenperatura altuak jasan eta kimikoki inerte mantentzen den kuartzo puruz egina.

▪ Gas-elikadura:

Labearen hodiaren goiko aldean edo alboan kokatuta, oxigenoa edo beste gas batzuk labearen hodiaren barrualdera garraiatzeko erabiltzen da.

▪ SS brida:

kuartzozko hodiak eta gas-hodiak lotzen dituzten osagaiak, konexioaren estutasuna eta egonkortasuna bermatuz.

▪ Gas-hornidura hodiak:

MFC gasa garraiatzeko gas hornidura-atakarekin konektatzen dituzten hodiak.

▪ MFC (Masa-fluxuaren kontrolatzailea):

Kuartzozko hodi baten barruko gas-fluxua kontrolatzen duen gailua, behar den gas-kantitatea zehaztasunez erregulatzeko.

▪ Aireztapena:

Labearen hodiaren barruko ihes-gasak ekipoaren kanpoaldera ateratzeko erabiltzen da.

Beheko aldea:

▪ Silikonazko obleak euskarrian:

Siliziozko obleak euskarri berezi batean daude, oxidazioan zehar bero uniformea ​​bermatzeko.

▪ Oblea-euskarria:

Siliziozko oblea eusteko eta prozesuan zehar egonkor mantentzen dela ziurtatzeko erabiltzen da.

▪ Oinarria:

Siliziozko oblea bat eusten duen egitura. Euskarria, normalean tenperatura altuak erresistenteak diren materialez egina.

▪ Igogailua:

Siliziozko obleak automatikoki kargatu eta deskargatzeko, oblea-euskarriak kuartzozko hodietatik sartu eta ateratzeko erabiltzen da.

▪ Oblea transferitzeko robota:

labe-hodi gailuaren alboan kokatuta, siliziozko oblea automatikoki kaxatik ateratzeko eta labe-hodian sartzeko edo prozesatu ondoren kentzeko erabiltzen da.

▪ Kaseteen biltegiratze-karrusela:

Kaseteen biltegiratze-karrusela siliziozko obleak dituen kaxa bat gordetzeko erabiltzen da eta biratu egin daiteke robotarentzat sarbidea izan dezan.

▪ Oblea kasetea:

oblea-kasetea prozesatu beharreko siliziozko obleak gordetzeko eta transferitzeko erabiltzen da.