Югарыда күрсәтелгәнчә, типик
Беренче ярты:
▪ Җылыту элементы (җылыту катушкасы):
мич торбасы тирәсендә урнашкан, гадәттә каршылык чыбыкларыннан ясалган, мич торбасының эчен җылыту өчен кулланыла.
▪ Кварц торбасы:
Кайнар оксидлаштыру миченең үзәге, югары температураларга чыдам һәм химик яктан инерт булып кала торган югары чисталыклы кварцтан ясалган.
▪ Газ белән тәэмин итү:
Мич торбасының өске яки ян өлешендә урнашкан ул кислород яки башка газларны мич торбасының эченә күчерү өчен кулланыла.
▪ SS фланец:
кварц торбаларын һәм газ торбаларын тоташтыручы компонентлар, тоташуның тыгызлыгын һәм тотрыклылыгын тәэмин итә.
▪ Газ җибәрү линияләре:
Газ тапшыру өчен MFCны газ белән тәэмин итү портына тоташтыручы торбалар.
▪ MFC (Масса агымын контроллерлау):
Кирәкле газ күләмен төгәл көйләү өчен кварц трубкасы эчендәге газ агымын контрольдә тотучы җайланма.
▪ Вентиляция:
Чыгарылган газны мич торбасы эченнән җиһазның тышкы ягына чыгару өчен кулланыла.
Аскы өлеш:
▪ Тоткычтагы кремний пластиналары:
Оксидлашу вакытында тигез җылылыкны тәэмин итү өчен кремний пластиналары махсус тоткада урнаштырылган.
▪ Вафли тотучы:
Кремний пластинасын тоту һәм процесс барышында кремний пластинасының тотрыклы булып калуын тәэмин итү өчен кулланыла.
▪ Подъезд:
Гадәттә югары температурага чыдам материалдан ясалган кремний пластинасын тота торган конструкция.
▪ Лифт:
Кремний пластиналарын автоматик рәвештә төяү һәм бушату өчен пластина тоткаларын кварц торбаларына күтәрү һәм чыгару өчен кулланыла.
▪ Вафли күчерү роботы:
мич торбасы җайланмасының ягында урнашкан, ул кремний пластинасын тартмадан автоматик рәвештә алу һәм аны мич торбасына урнаштыру өчен кулланыла, яисә эшкәртүдән соң аны алу өчен кулланыла.
▪ Кассеталы саклау каруселе:
Кассеталы саклау каруселе кремний пластиналары тутырылган тартманы саклау өчен кулланыла һәм роботларга керү өчен әйләндереп була.
▪ Вафли кассетасы:
пластина кассетасы эшкәртеләчәк кремний пластиналарын саклау һәм күчерү өчен кулланыла.
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 22 апреле