Vnitřní struktura zařízení pecních trubek je podrobně vysvětlena.

Jak je uvedeno výše, je typickým

První polovina:

▪ Topný článek (topná spirála):

umístěné kolem trubky pece, obvykle vyrobené z odporových drátů, používané k ohřevu vnitřku trubky pece.

▪ Křemenná trubice:

Jádro horké oxidační pece vyrobené z vysoce čistého křemene, který odolává vysokým teplotám a zůstává chemicky inertní.

▪ Přívod plynu:

Nachází se v horní nebo boční části pecní trubky a slouží k přepravě kyslíku nebo jiných plynů do vnitřku pecní trubky.

▪ Příruba z nerezové oceli:

komponenty, které spojují křemenné trubice a plynová potrubí a zajišťují těsnost a stabilitu spojení.

▪ Přívodní plynové potrubí:

Potrubí, které spojuje MFC s přívodním portem plynu pro přenos plynu.

▪ MFC (regulátor hmotnostního průtoku):

Zařízení, které řídí tok plynu uvnitř křemenné trubice a přesně reguluje potřebné množství plynu.

▪ Odvětrání:

Používá se k odvětrání výfukových plynů z vnitřku trubky pece ven ze zařízení.

Spodní část:

▪ Křemíkové destičky v držáku:

Křemíkové destičky jsou uloženy ve speciálním držáku, který zajišťuje rovnoměrné zahřívání během oxidace.

▪ Držák oplatky:

Slouží k uchycení křemíkové destičky a zajištění její stability během procesu.

▪ Podstavec:

Struktura, která drží držák křemíkových destiček, obvykle vyrobená z materiálu odolného vůči vysokým teplotám.

▪ Výtah:

Používá se k zvedání a vyjímání držáků křemíkových destiček do a z křemenných trubic pro automatické vkládání a vykládání křemíkových destiček.

▪ Robot pro přenos destiček:

Nachází se na boku zařízení s trubkou pece a slouží k automatickému vyjmutí křemíkové destičky z krabice a jejímu umístění do trubky pece nebo k jejímu vyjmutí po zpracování.

▪ Karusel pro ukládání kazet:

Karusel pro ukládání kazet slouží k uložení krabice obsahující křemíkové destičky a lze jej otáčet pro přístup robota.

▪ Kazeta s destičkami:

Kazeta s křemíkovými destičkami se používá k ukládání a přenosu křemíkových destiček určených ke zpracování.