Struktura e brendshme e pajisjeve të tubave të furrës shpjegohet në detaje.

Siç tregohet më sipër, është një tipik

Gjysma e parë:

▪ Element Ngrohës (spirale ngrohëse):

të vendosura rreth tubit të furrës, zakonisht të bëra nga tela rezistence, të përdorura për të ngrohur pjesën e brendshme të tubit të furrës.

▪ Tub kuarci:

Bërthama e një furre oksidimi të nxehtë, e bërë nga kuarc me pastërti të lartë që mund t'i rezistojë temperaturave të larta dhe të mbetet kimikisht inerte.

▪ Furnizim me gaz:

I vendosur në pjesën e sipërme ose anësore të tubit të furrës, përdoret për të transportuar oksigjen ose gazra të tjerë në pjesën e brendshme të tubit të furrës.

▪ Fllanxhë SS:

komponentë që lidhin tubat e kuarcit dhe linjat e gazit, duke siguruar ngushtësinë dhe stabilitetin e lidhjes.

▪ Linjat e furnizimit me gaz:

Tuba që lidhin MFC-në me portën e furnizimit me gaz për transmetimin e gazit.

▪ MFC (Kontrolluesi i Rrjedhjes së Masës):

Një pajisje që kontrollon rrjedhën e gazit brenda një tubi kuarci për të rregulluar me saktësi sasinë e gazit të kërkuar.

▪ Shfryrje:

Përdoret për të nxjerë gazin e shkarkuar nga brenda tubit të furrës në pjesën e jashtme të pajisjes.

Pjesa e poshtme:

▪ Napolitane silikoni në mbajtëse:

Napolitanet e silikonit janë të vendosura në një mbajtëse të posaçme për të siguruar nxehtësi uniforme gjatë oksidimit.

▪ Mbajtëse për pllakën e plastikës:

Përdoret për të mbajtur pllakëzën e silikonit dhe për të siguruar që pllaka e silikonit të mbetet e qëndrueshme gjatë procesit.

▪ Piedestali:

Një strukturë që mban një mbajtëse pllake silikoni, zakonisht e bërë nga një material rezistent ndaj temperaturave të larta.

▪ Ashensor:

Përdoret për të ngritur mbajtëset e pllakave të silikonit brenda dhe jashtë tubave të kuarcit për ngarkim dhe shkarkim automatik të pllakave të silikonit.

▪ Robot për Transferimin e Pllakave të Ngjitura:

E vendosur në anën e pajisjes së tubit të furrës, përdoret për të hequr automatikisht pllakëzën e silikonit nga kutia dhe për ta vendosur atë në tubin e furrës, ose për ta hequr atë pas përpunimit.