Внатрешната структура на опремата на цевките на печката е детално објаснета

Како што е прикажано погоре, е типично

Првото полувреме:

▪ Греен елемент (греен калем):

сместен околу цевката на печката, обично направен од отпорни жици, кој се користи за загревање на внатрешноста на цевката на печката.

▪ Кварцна цевка:

Јадрото на печка за топла оксидација, направено од кварц со висока чистота што може да издржи високи температури и да остане хемиски инертен.

▪ Довод на гас:

Сместен на горниот или страничниот дел од цевката на печката, се користи за транспорт на кислород или други гасови до внатрешноста на цевката на печката.

▪ SS прирабница:

компоненти што ги поврзуваат кварцните цевки и гасоводите, обезбедувајќи затегнатост и стабилност на врската.

▪ Доводни цевки за гас:

Цевки што го поврзуваат MFC со приклучокот за снабдување со гас за пренос на гас.

▪ MFC (Контролер на масен проток):

Уред што го контролира протокот на гас во кварцна цевка за прецизно регулирање на потребната количина на гас.

▪ Отвор:

Се користи за испуштање на издувните гасови од внатрешноста на цевката на печката кон надворешноста на опремата.

Долниот дел:

▪ Силиконски плочки во држач:

Силиконските плочки се сместени во специјален држач за да се обезбеди рамномерна топлина за време на оксидацијата.

▪ Држач за вафли:

Се користи за држење на силиконската плочка и за обезбедување стабилност на истата за време на процесот.

▪ Пиедестал:

Структура што држи држач за силиконска плочка, обично направен од материјал отпорен на високи температури.

▪ Лифт:

Се користи за подигнување на држачи на плотни во и надвор од кварцни цевки за автоматско полнење и истовар на силиконски плотни.

▪ Робот за пренос на плочки:

Сместен на страната од уредот за цевка на печката, се користи за автоматско отстранување на силиконската плочка од кутијата и нејзино поставување во цевката на печката, или за отстранување по обработката.

▪ Вртелешка за складирање касети:

Вртелешката за складирање на касети се користи за складирање на кутија што содржи силиконски плочки и може да се ротира за пристап од страна на роботот.