Structura internă a echipamentului cu tuburi de cuptor este explicată în detaliu

După cum se arată mai sus, este un tipic

Prima jumătate:

▪ Element de încălzire (serpentina de încălzire):

situat în jurul tubului cuptorului, de obicei realizat din fire de rezistență, utilizat pentru încălzirea interiorului tubului cuptorului.

▪ Tub de cuarț:

Miezul unui cuptor de oxidare la cald, realizat din cuarț de înaltă puritate, care poate rezista la temperaturi ridicate și poate rămâne inert din punct de vedere chimic.

▪ Alimentare cu gaz:

Situat în partea superioară sau laterală a tubului cuptorului, acesta este utilizat pentru a transporta oxigen sau alte gaze în interiorul tubului cuptorului.

▪ Flanșă din oțel inoxidabil:

componente care conectează tuburile de cuarț și conductele de gaz, asigurând etanșeitatea și stabilitatea conexiunii.

▪ Conducte de alimentare cu gaz:

Țevi care conectează MFC-ul la orificiul de alimentare cu gaz pentru transportul gazelor.

▪ MFC (Controler de debit masic):

Un dispozitiv care controlează fluxul de gaz în interiorul unui tub de cuarț pentru a regla cu precizie cantitatea de gaz necesară.

▪ Ventilator:

Folosit pentru a evacua gazele de eșapament din interiorul tubului cuptorului către exteriorul echipamentului.

Partea inferioară:

▪ Napolitane de silicon în suport:

Napolitanele de siliciu sunt adăpostite într-un suport special pentru a asigura o căldură uniformă în timpul oxidării.

▪ Suport pentru napolitane:

Folosit pentru a susține placheta de siliciu și pentru a asigura stabilitatea acesteia în timpul procesului.

▪ Piedestal:

O structură care susține un suport pentru plachetă de siliciu, de obicei fabricată dintr-un material rezistent la temperaturi ridicate.

▪ Lift:

Folosit pentru ridicarea și scoaterea suporturilor de napolitane din tuburile de cuarț pentru încărcarea și descărcarea automată a napolitanelor de siliciu.

▪ Robot de transfer de napolitane:

Situat pe partea laterală a dispozitivului cu tub de cuptor, acesta este utilizat pentru a scoate automat placheta de siliciu din cutie și a o plasa în tubul cuptorului sau pentru a o scoate după procesare.

▪ Carusel de depozitare a casetelor:

Caruselul de depozitare a casetelor este utilizat pentru a depozita o cutie care conține napolitane de siliciu și poate fi rotit pentru accesul robotului.

▪ Casetă cu napolitane:

Caseta cu napolitane este utilizată pentru depozitarea și transferul napolitanelor de siliciu care urmează să fie procesate.