Жоғарыда көрсетілгендей, бұл типтік
Бірінші тайм:
▪ Қыздыру элементі (қыздыру катушкасы):
пеш түтігінің айналасында орналасқан, әдетте пеш түтігінің ішін қыздыру үшін қолданылатын кедергі сымдарынан жасалған.
▪ Кварц түтігі:
Жоғары температураға төтеп бере алатын және химиялық инертті болып қалатын жоғары тазалықтағы кварцтан жасалған ыстық тотығу пешінің өзегі.
▪ Газ беру:
Пеш түтігінің жоғарғы немесе бүйір жағында орналасқан, ол оттегін немесе басқа газдарды пеш түтігінің ішіне тасымалдау үшін қолданылады.
▪ SS фланеці:
кварц түтіктері мен газ құбырларын қосатын, қосылыстың тығыздығы мен тұрақтылығын қамтамасыз ететін компоненттер.
▪ Газ беру желілері:
Газ беру үшін MFC-ді газбен жабдықтау портына қосатын құбырлар.
▪ MFC (Масса ағынын реттегіш):
Кварц түтігінің ішіндегі газ ағынын басқаратын және қажетті газ мөлшерін дәл реттейтін құрылғы.
▪ Желдеткіш:
Пеш түтігінің ішінен жабдықтың сыртына шығатын газды шығару үшін қолданылады.
Төменгі бөлігі:
▪ Ұстағыштағы кремний пластиналары:
Кремний пластиналары тотығу кезінде біркелкі жылуды қамтамасыз ету үшін арнайы ұстағышта сақталады.
▪ Вафли ұстағыш:
Кремний пластинасын ұстап тұру және процесс барысында кремний пластинасының тұрақты болып қалуын қамтамасыз ету үшін қолданылады.
▪ Тұғыр:
Әдетте жоғары температураға төзімді материалдан жасалған кремний пластинасын ұстайтын құрылым.
▪ Лифт:
Кремний пластиналарын автоматты түрде тиеу және түсіру үшін пластина ұстағыштарын кварц түтіктеріне көтеру және шығару үшін қолданылады.
▪ Вафли тасымалдау роботы:
пеш түтігі құрылғысының бүйірінде орналасқан, ол кремний пластинасын қораптан автоматты түрде алып, оны пеш түтігіне салу немесе өңдеуден кейін алып тастау үшін қолданылады.
▪ Кассеталық сақтау каруселі:
Кассеталық сақтау каруселі кремний пластиналары бар қорапты сақтау үшін қолданылады және роботқа қол жеткізу үшін айналдыруға болады.
▪ Вафли кассетасы:
Вафли кассетасы өңделетін кремний пластиналарын сақтау және тасымалдау үшін қолданылады.
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 22 сәуір