Detaljno je objašnjena unutrašnja struktura opreme cijevi peći.

Kao što je gore prikazano, tipično je

Prva polovina:

▪ Grijaći element (grijna zavojnica):

smješten oko cijevi peći, obično napravljen od otpornih žica, koristi se za zagrijavanje unutrašnjosti cijevi peći.

▪ Kvarcna cijev:

Jezgro peći za vruću oksidaciju, napravljeno od visokočistog kvarca koji može izdržati visoke temperature i ostati hemijski inertan.

▪ Dovod plina:

Smješten na gornjem ili bočnom dijelu cijevi peći, koristi se za transport kisika ili drugih plinova u unutrašnjost cijevi peći.

▪ Prirubnica od nehrđajućeg čelika:

komponente koje spajaju kvarcne cijevi i plinske vodove, osiguravajući nepropusnost i stabilnost spoja.

▪ Dovodne plinske cijevi:

Cijevi koje povezuju MFC sa priključkom za dovod plina za prijenos plina.

▪ MFC (Kontroler masenog protoka):

Uređaj koji kontrolira protok plina unutar kvarcne cijevi kako bi precizno regulirao potrebnu količinu plina.

▪ Ventilacija:

Koristi se za ispuštanje ispušnih plinova iz unutrašnjosti cijevi peći prema van opreme.

Donji dio:

▪ Silikonske pločice u držaču:

Silicijumske pločice se nalaze u posebnom držaču kako bi se osigurala ravnomjerna toplota tokom oksidacije.

▪ Držač za oblatne:

Koristi se za držanje silicijumske pločice i osigurava da silicijumska pločica ostane stabilna tokom procesa.

▪ Postolje:

Struktura koja drži držač silicijumske pločice, obično napravljena od materijala otpornog na visoke temperature.

▪ Lift:

Koristi se za podizanje i izvlačenje držača pločica u i iz kvarcnih cijevi za automatsko utovar i istovar silicijumskih pločica.

▪ Robot za prenos pločica:

Smješten sa strane uređaja s cijevi peći, koristi se za automatsko uklanjanje silicijumske pločice iz kutije i njeno postavljanje u cijev peći ili za njeno uklanjanje nakon obrade.

▪ Karusel za odlaganje kaseta:

Karusel za odlaganje kaseta koristi se za odlaganje kutije koja sadrži silicijumske pločice i može se rotirati za pristup robota.

▪ Kaseta s pločicom:

Kaseta za pločice se koristi za skladištenje i prenos silicijumskih pločica koje se obrađuju.