Jan yo montre pi wo a, se yon tipik
Premye mwatye a:
▪ Eleman chofaj (bobin chofaj):
ki sitiye otou tib founo a, anjeneral fèt ak fil rezistans, yo itilize pou chofe andedan tib founo a.
▪ Tib kwatz:
Nwayo yon founo oksidasyon cho, ki fèt ak kwatz ki gen anpil pite ki ka reziste tanperati ki wo epi ki rete inaktif chimikman.
▪ Alimantasyon Gaz:
Sitiye nan pati anwo oswa sou kote tib founo a, li itilize pou transpòte oksijèn oswa lòt gaz anndan tib founo a.
▪ Bride SS:
konpozan ki konekte tib kwatz ak liy gaz, pou asire sere ak estabilite koneksyon an.
▪ Liy Alimantasyon Gaz:
Tiyo ki konekte MFC a ak pò ekipman pou gaz la pou transmisyon gaz.
▪ MFC (Kontwolè Debi Mas):
Yon aparèy ki kontwole koule gaz la andedan yon tib kwatz pou reglemante avèk presizyon kantite gaz ki nesesè a.
▪ Vantilasyon:
Itilize pou vantile gaz echapman an soti anndan tib founo a pou ale deyò ekipman an.
Pati ki pi ba a:
▪ Gofr Silisyòm nan Sipò:
Gato Silisyòm yo loje nan yon Sipò espesyal pou asire chalè inifòm pandan oksidasyon.
▪ Sipò pou gofr:
Itilize pou kenbe wafer silikon an epi asire ke wafer silikon an rete estab pandan pwosesis la.
▪ Pedestal:
Yon estrikti ki kenbe yon sipò pou wafer silikon, anjeneral ki fèt ak yon materyèl ki reziste tanperati ki wo.
▪ Asansè:
Itilize pou leve pòt wafer yo nan tib kwatz pou chaje ak dechaje otomatikman wafer silikon yo.
▪ Robo Transfè Wafer:
Li sitiye sou bò aparèy tib founo a, li itilize pou retire otomatikman wafer silikon an nan bwat la epi mete l nan tib founo a, oubyen retire l apre tretman.
▪ Karousèl Depo Kasèt:
Yo itilize karousèl depo kasèt pou estoke yon bwat ki gen tranch silikon epi yo ka vire pou robo ka gen aksè.
▪ Kasèt gofr:
Yo itilize kasèt wafer pou estoke ak transfere wafer silikon yo pou trete.
Dat piblikasyon: 22 avril 2024
