Avahiya navxweyî ya alavên lûleya firnê bi berfirehî tê ravekirin

Wekî ku li jor tê xuyang kirin, tîpîk e

Nîvroya yekem:

▪ Hêmana Germkirinê (bobîna germkirinê):

li dora lûleya firnê cih digire, bi gelemperî ji têlên berxwedanê tê çêkirin, ji bo germkirina hundirê lûleya firnê tê bikar anîn.

▪ Lûleya Quartz:

Navika firneyeke oksîdasyona germ, ji kuartza paqijiya bilind hatiye çêkirin ku dikare li hember germahiyên bilind bisekine û ji hêla kîmyayî ve bêbandor bimîne.

▪ Xwarina Gazê:

Li jor an jî li kêleka lûleya firnê cih digire, ji bo veguhestina oksîjen an gazên din bo hundirê lûleya firnê tê bikar anîn.

▪ Flange SS:

pêkhateyên ku lûleyên quartz û xetên gazê bi hev ve girêdidin, tengbûn û aramiya pêwendiyê misoger dikin.

▪ Xetên Xwarina Gazê:

Boriyên ku MFC-ê bi porta dabînkirina gazê ve girêdidin ji bo veguhestina gazê.

▪ MFC (Kontrolkera Herikîna Girseyî):

Amûrek e ku herikîna gazê di hundirê lûleyek kuartzê de kontrol dike da ku mîqdara gaza pêwîst bi awayekî rast were rêkxistin.

▪ Hewa:

Ji bo derxistina gaza egzozê ji hundirê lûleya firnê ber bi derveyî alavê ve tê bikar anîn.

Beşa jêrîn:

▪ Waflên Sîlîkonê di Holderê de:

Waflên silîkonê di Holderek taybet de têne bicihkirin da ku di dema oksîdasyonê de germahiya yekreng misoger bikin.

▪ Girêderê Waferê:

Ji bo girtina wafera silîkonê û misogerkirina ku wafera silîkonê di dema pêvajoyê de sabît dimîne tê bikar anîn.

▪ Pêdestal:

Avahiyek ku hilgirek waflê ya silîkonê digire, bi gelemperî ji materyalek li hember germahiya bilind berxwedêr tê çêkirin.

▪ Asansor:

Ji bo hildan û derxistina otomatîk a waferên silîkonê ji bo hildan û derxistina wan ji lûleyên quartz tê bikaranîn.

▪ Robota Veguhestina Waferê:

li kêleka cîhaza lûleya firnê ye, ew ji bo derxistina otomatîkî ya wafera silîkonê ji qutiyê û danîna wê di lûleya firnê de, an jî piştî pêvajoyê derxistina wê tê bikar anîn.