همانطور که در بالا نشان داده شده است، یک نمونه معمولی است
نیمه اول:
▪ المنت حرارتی (کویل گرمایشی):
در اطراف لوله کوره قرار دارد و معمولاً از سیمهای مقاومتی ساخته شده و برای گرم کردن داخل لوله کوره استفاده میشود.
▪ لوله کوارتز:
هسته کوره اکسیداسیون داغ، ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا که میتواند در برابر دماهای بالا مقاومت کند و از نظر شیمیایی بیاثر باقی بماند.
▪ خوراک گاز:
این وسیله که در قسمت بالایی یا کناری لوله کوره قرار دارد، برای انتقال اکسیژن یا سایر گازها به داخل لوله کوره استفاده میشود.
▪ فلنج SS:
اجزایی که لولههای کوارتز و خطوط گاز را به هم متصل میکنند و از سفتی و پایداری اتصال اطمینان حاصل میکنند.
▪ خطوط تغذیه گاز:
لولههایی که MFC را برای انتقال گاز به دریچه تأمین گاز متصل میکنند.
▪ MFC (کنترلکننده جریان جرمی):
وسیلهای که جریان گاز را درون یک لوله کوارتز کنترل میکند تا میزان گاز مورد نیاز را به طور دقیق تنظیم کند.
▪ تهویه:
برای تخلیه گاز خروجی از داخل لوله کوره به بیرون تجهیزات استفاده میشود.
قسمت پایین:
▪ ویفرهای سیلیکونی در نگهدارنده:
ویفرهای سیلیکونی در یک نگهدارنده مخصوص قرار میگیرند تا از گرمای یکنواخت در حین اکسیداسیون اطمینان حاصل شود.
▪ نگهدارنده ویفر:
برای نگه داشتن ویفر سیلیکونی و اطمینان از پایداری ویفر سیلیکونی در طول فرآیند استفاده میشود.
▪ پایه:
سازهای که ویفر سیلیکونی را در خود نگه میدارد، معمولاً از مادهای مقاوم در برابر دمای بالا ساخته شده است.
▪ آسانسور:
برای بلند کردن و خارج کردن نگهدارندههای ویفر از لولههای کوارتزی جهت بارگیری و تخلیه خودکار ویفرهای سیلیکونی استفاده میشود.
▪ ربات انتقال ویفر:
این قطعه که در کنار دستگاه لوله کوره قرار دارد، برای برداشتن خودکار ویفر سیلیکونی از جعبه و قرار دادن آن در لوله کوره یا برداشتن آن پس از پردازش استفاده میشود.
▪ چرخ فلک نگهداری کاست:
چرخ فلک ذخیرهسازی کاست برای نگهداری جعبهای حاوی ویفرهای سیلیکونی استفاده میشود و میتواند برای دسترسی ربات چرخانده شود.
▪ کاست ویفر:
کاست ویفر برای ذخیره و انتقال ویفرهای سیلیکونی مورد پردازش استفاده میشود.
زمان ارسال: ۲۲ آوریل ۲۰۲۴