Падрабязна тлумачыцца ўнутраная канструкцыя абсталявання трубчатай печы

Як паказана вышэй, гэта тыповы

Першая палова:

▪ Награвальны элемент (награвальная спіраль):

размешчаны вакол трубы печы, звычайна выраблены з рэзістыўных правадоў, які выкарыстоўваецца для нагрэву ўнутранай часткі трубы печы.

▪ Кварцавая трубка:

Асяродак гарачай акісляльнай печы, выраблены з высакаякаснага кварца, які можа вытрымліваць высокія тэмпературы і заставацца хімічна інертным.

▪ Падача газу:

Размешчаны ў верхняй або бакавой частцы печнай трубы, ён выкарыстоўваецца для транспарціроўкі кіслароду або іншых газаў унутр печнай трубы.

▪ Фланец з нержавеючай сталі:

кампаненты, якія злучаюць кварцавыя трубкі і газавыя лініі, забяспечваючы герметычнасць і стабільнасць злучэння.

▪ Газаправоды:

Трубы, якія злучаюць MFC з портам падачы газу для перадачы газу.

▪ Рэгулятар масавага расходу (РМР):

Прылада, якая кантралюе паток газу ўнутры кварцавай трубкі, каб дакладна рэгуляваць неабходную колькасць газу.

▪ Вентыляцыя:

Выкарыстоўваецца для адводу адпрацаваных газаў знутры печнай трубы вонкі абсталявання.

Ніжняя частка:

▪ Крэмніевыя пласціны ў трымальніку:

Крэмніевыя пласціны размяшчаюцца ў спецыяльным трымальніку для забеспячэння раўнамернага нагрэву падчас акіслення.

▪ Трымальнік для вафель:

Выкарыстоўваецца для ўтрымання крэмніевай пласціны і забеспячэння яе стабільнасці падчас працэсу.

▪ Пастамент:

Канструкцыя, якая ўтрымлівае трымальнік для крэмніевых пласцін, звычайна вырабленая з матэрыялу, устойлівага да высокіх тэмператур.

▪ Ліфт:

Выкарыстоўваецца для ўстаўкі і выгрузкі трымальнікаў пласцін у кварцавыя трубкі для аўтаматычнай загрузкі і выгрузкі крэмніевых пласцін.

▪ Робат для перадачы пласцін:

Размешчаны збоку прылады трубкі печы, ён выкарыстоўваецца для аўтаматычнага вымання крэмніевай пласціны з скрынкі і размяшчэння яе ў трубцы печы або выдалення яе пасля апрацоўкі.