Detaljno je objašnjena unutarnja struktura opreme cijevi peći.

Kao što je gore prikazano, tipično je

Prva polovica:

▪ Grijaći element (grijna zavojnica):

smješten oko cijevi peći, obično izrađen od otpornih žica, koristi se za zagrijavanje unutrašnjosti cijevi peći.

▪ Kvarcna cijev:

Jezgra peći za vruću oksidaciju, izrađena od visokočistog kvarca koji može izdržati visoke temperature i ostati kemijski inertan.

▪ Dovod plina:

Smješten na vrhu ili bočnoj strani cijevi peći, koristi se za transport kisika ili drugih plinova u unutrašnjost cijevi peći.

▪ Prirubnica od nehrđajućeg čelika:

komponente koje spajaju kvarcne cijevi i plinske vodove, osiguravajući nepropusnost i stabilnost spoja.

▪ Dovodne plinske cijevi:

Cijevi koje spajaju MFC s priključkom za dovod plina za prijenos plina.

▪ MFC (regulator masenog protoka):

Uređaj koji kontrolira protok plina unutar kvarcne cijevi kako bi precizno regulirao potrebnu količinu plina.

▪ Ventilacija:

Koristi se za odvod ispušnih plinova iz cijevi peći prema van opreme.

Donji dio:

▪ Silikonske pločice u držaču:

Silicijske pločice smještene su u posebnom držaču kako bi se osigurala ravnomjerna toplina tijekom oksidacije.

▪ Držač za oblatne:

Koristi se za držanje silicijske pločice i osiguravanje stabilnosti silicijske pločice tijekom procesa.

▪ Postolje:

Struktura koja drži držač silicijske pločice, obično izrađena od materijala otpornog na visoke temperature.

▪ Dizalo:

Koristi se za podizanje držača pločica u i iz kvarcnih cijevi za automatsko utovar i istovar silicijskih pločica.

▪ Robot za prijenos pločica:

Smješten sa strane uređaja s cijevi peći, koristi se za automatsko uklanjanje silicijske pločice iz kutije i njezino postavljanje u cijev peći ili njezino uklanjanje nakon obrade.

▪ Vrtuljak za pohranu kaseta:

Karusel za pohranu kaseta koristi se za pohranu kutije koja sadrži silicijske pločice i može se rotirati za pristup robota.

▪ Kaseta s pločicom:

Kaseta za pločice koristi se za pohranu i prijenos silicijskih pločica koje se obrađuju.