Cov qauv sab hauv ntawm cov khoom siv raj cua sov tau piav qhia kom meej

Raws li qhia saum toj no, yog ib qho kev coj ua

Ib nrab thawj zaug:

▪ Lub Tshuab Cua Sov (kiv cua sov):

nyob ib puag ncig lub raj cua sov, feem ntau yog ua los ntawm cov xov hlau tiv taus, siv los ua kom sov sab hauv ntawm lub raj cua sov.

▪ Lub raj Quartz:

Lub hauv paus ntawm lub cub tawg oxidation kub, ua los ntawm cov quartz ntshiab uas tuaj yeem tiv taus qhov kub siab thiab tseem tsis muaj tshuaj lom neeg.

▪ Kev Pub Roj:

Nyob rau sab saud lossis sab ntawm lub raj cua sov, nws yog siv los thauj cov pa oxygen lossis lwm yam roj mus rau sab hauv ntawm lub raj cua sov.

▪ SS Flange:

cov khoom sib txuas uas txuas cov raj quartz thiab cov kav roj, ua kom ntseeg tau tias qhov sib txuas nruj thiab ruaj khov.

▪ Cov Kab Pub Roj:

Cov kav dej uas txuas MFC mus rau qhov chaw muab roj rau kev xa roj.

▪ MFC (Tus Tswj Xyuas Kev Nqus Paug):

Ib lub cuab yeej uas tswj cov roj ntws hauv lub raj quartz kom tswj tau qhov ntau ntawm cov roj uas xav tau.

▪ Qhov cua:

Siv los tso cov pa tawm ntawm sab hauv lub raj cua sov mus rau sab nraud ntawm cov khoom siv.

Qis dua:

▪ Silicon Wafers hauv Holder:

Cov silicon wafers tau muab tso rau hauv ib lub Holder tshwj xeeb kom ntseeg tau tias muaj cua sov sib xws thaum lub sijhawm oxidation.

▪ Tus Tuav Wafer:

Siv los tuav lub silicon wafer thiab xyuas kom meej tias lub silicon wafer tseem ruaj khov thaum lub sijhawm ua haujlwm.

▪ Lub Rooj Zaum:

Ib qho qauv uas tuav lub silicon wafer Holder, feem ntau yog ua los ntawm cov khoom siv tiv taus kub siab.

▪ Lub Tshuab Nqa Khoom:

Siv los tsa cov tuav Wafer rau hauv thiab tawm ntawm cov raj quartz rau kev thauj khoom thiab tshem tawm cov silicon wafers tsis siv neeg.

▪ Neeg Hlau Hloov Wafer:

nyob rau ntawm sab ntawm lub raj cua sov, nws yog siv los tshem tawm cov silicon wafer ntawm lub thawv thiab muab tso rau hauv lub raj cua sov, lossis tshem tawm tom qab ua tiav.