Kaip parodyta aukščiau, yra tipiškas
Pirmoji pusė:
▪ Šildymo elementas (šildymo ritė):
esantis aplink krosnies vamzdį, paprastai pagamintas iš varžinių vielų, naudojamas krosnies vamzdžio vidui šildyti.
▪ Kvarcinis vamzdelis:
Karšto oksidavimo krosnies šerdis, pagaminta iš labai gryno kvarco, kuris gali atlaikyti aukštą temperatūrą ir išlikti chemiškai inertiškas.
▪ Dujų tiekimas:
Esantis krosnies vamzdžio viršuje arba šone, jis naudojamas deguoniui ar kitoms dujoms transportuoti į krosnies vamzdžio vidų.
▪ Nerūdijančio plieno flanšas:
komponentai, jungiantys kvarcinius vamzdelius ir dujotiekius, užtikrinant jungties sandarumą ir stabilumą.
▪ Dujų tiekimo linijos:
Vamzdžiai, jungiantys MFC su dujų tiekimo anga dujų perdavimui.
▪ MFC (masės srauto reguliatorius):
Įtaisas, kuris kontroliuoja dujų srautą kvarciniame vamzdelyje, kad būtų galima tiksliai reguliuoti reikiamą dujų kiekį.
▪ Ventiliacija:
Naudojamas išmetamosioms dujoms iš krosnies vamzdžio išleisti į įrangos išorę.
Apatinė dalis:
▪ Silicio plokštelės laikiklyje:
Silicio plokštelės laikomos specialiame laikiklyje, kad oksidacijos metu būtų užtikrintas vienodas šilumos pasiskirstymas.
▪ Plokštelių laikiklis:
Naudojamas silicio plokštelei laikyti ir užtikrinti, kad ji proceso metu išliktų stabili.
▪ Pastatas:
Silicio plokštelės laikiklis, paprastai pagamintas iš aukštai temperatūrai atsparios medžiagos.
▪ Liftas:
Naudojamas plokštelių laikikliams įkelti į kvarcinius vamzdelius ir iškelti iš jų, kad būtų galima automatiškai įkelti ir iškrauti silicio plokšteles.
▪ Plokštelių perkėlimo robotas:
Esantis krosnies vamzdžio įtaiso šone, jis naudojamas silicio plokštelei automatiškai išimti iš dėžutės ir įdėti į krosnies vamzdį arba išimti po apdorojimo.
▪ Kasečių laikymo karuselė:
Kasečių laikymo karuselė naudojama dėžei su silicio plokštelėmis laikyti ir gali būti pasukta, kad robotas galėtų prie jos prieiti.
▪ Plokštelių kasetė:
Plokštelių kasetė naudojama silicio plokštelėms apdoroti laikyti ir perkelti.
Įrašo laikas: 2024 m. balandžio 22 d.