上記のように、典型的な
前半：
▪ 発熱体（加熱コイル）：
炉管の周囲に配置され、通常は抵抗線でできており、炉管内部を加熱するために使用される。
▪ 石英管：
高温酸化炉のコア部分は、高温に耐え、化学的に不活性な高純度石英でできている。
▪ ガス供給：
炉管の上部または側面に位置し、酸素やその他のガスを炉管内部に輸送するために使用されます。
▪ SSフランジ：
石英管とガス管を接続する部品であり、接続部の気密性と安定性を確保する。
▪ ガス供給ライン：
MFCとガス供給ポートを接続し、ガスを輸送するための配管。
▪ MFC（マスフローコントローラー）：
石英管内のガスの流れを制御し、必要なガスの量を正確に調整する装置。
▪ 愚痴をこぼす：
炉管内部の排気ガスを装置外部へ排出するために使用されます。
下部：
▪ ホルダー内のシリコンウェハー：
シリコンウェハーは、酸化処理中に均一な熱が伝わるように、専用のホルダーに収納される。
▪ ウェハホルダー：
シリコンウェハーを保持し、処理中にシリコンウェハーが安定した状態を保つようにするために使用されます。
▪ 台座：
シリコンウェハーを保持する構造体。ホルダーとも呼ばれ、通常は耐熱性の高い材料で作られる。
▪ エレベーター：
シリコンウェハーの自動装填および取り出しのために、ウェハーホルダーを石英管に出し入れする際に使用する。
▪ ウェハ搬送ロボット：
炉管装置の側面に設置されており、シリコンウェハをボックスから自動的に取り出して炉管内に配置したり、処理後に取り出したりするために使用されます。
▪ カセット収納カルーセル：
カセット収納カルーセルは、シリコンウェハーを収納した箱を保管するために使用され、ロボットがアクセスできるように回転させることができます。
▪ ウェハーカセット：
ウェーハカセットは、処理対象となるシリコンウェーハを保管および搬送するために使用されます。
投稿日時：2024年4月22日