Fırın tüpü ekipmanının iç yapısı detaylı olarak açıklanmıştır.

Yukarıda gösterildiği gibi, bu tipik bir örnektir.

İlk yarı:

▪ Isıtma Elemanı (ısıtma bobini):

Fırın tüpünün etrafına yerleştirilen, genellikle direnç tellerinden yapılmış ve fırın tüpünün içini ısıtmak için kullanılan elemanlar.

▪ Kuvars Tüpü:

Yüksek sıcaklıklara dayanabilen ve kimyasal olarak inert kalabilen yüksek saflıkta kuvarsdan yapılmış, sıcak oksidasyon fırınının çekirdeği.

▪ Gaz Beslemesi:

Fırın borusunun üst veya yan tarafında yer alan bu boru, oksijen veya diğer gazları fırın borusunun içine taşımak için kullanılır.

▪ Paslanmaz Çelik Flanş:

Kuvars tüpleri ve gaz hatlarını birbirine bağlayan, bağlantının sızdırmazlığını ve sağlamlığını sağlayan bileşenler.

▪ Gaz Besleme Hatları:

MFC'yi gaz iletimi için gaz besleme portuna bağlayan borular.

▪ MFC (Kütle Akış Kontrol Cihazı):

Kuvars bir tüpün içindeki gaz akışını kontrol ederek, ihtiyaç duyulan gaz miktarını hassas bir şekilde düzenleyen bir cihaz.

▪ Havalandırma:

Fırın borusunun içinden çıkan egzoz gazını ekipmanın dışına tahliye etmek için kullanılır.

Alt kısım:

▪ Tutucu İçindeki Silikon Levhalar:

Silikon levhalar, oksidasyon sırasında homojen ısı dağılımını sağlamak için özel bir tutucuya yerleştirilir.

▪ Gofret Tutucu:

Silikon levhayı yerinde tutmak ve işlem sırasında silikon levhanın sabit kalmasını sağlamak için kullanılır.

▪ Kaide:

Silikon levha tutucu, genellikle yüksek sıcaklığa dayanıklı bir malzemeden yapılmış, levhayı yerinde tutan bir yapıdır.

▪ Asansör:

Silikon levhaların otomatik olarak yüklenmesi ve boşaltılması için levha tutucuları kuvars tüplerin içine ve dışına kaldırmak amacıyla kullanılır.

▪ Yonga Levha Transfer Robotu:

Fırın tüpü cihazının yan tarafında bulunan bu parça, silikon levhayı kutudan otomatik olarak çıkarıp fırın tüpüne yerleştirmek veya işlemden sonra çıkarmak için kullanılır.

▪ Kaset Saklama Döner Rafı:

Silikon levhalar içeren bir kutuyu saklamak için kullanılan kaset depolama döner tablası, robot erişimi için döndürülebilir.

▪ İnce Bant Kaset:

Silikon levhaların işlenmesi için depolanması ve taşınmasında levha kaseti kullanılır.