Kot je prikazano zgoraj, je tipičen
Prva polovica:
▪ Grelni element (grelna tuljava):
nahaja se okoli cevi peči, običajno izdelan iz uporovnih žic, ki se uporablja za ogrevanje notranjosti cevi peči.
▪ Kvarčna cev:
Jedro vroče oksidacijske peči, izdelano iz visoko čistega kremena, ki lahko prenese visoke temperature in ostane kemično inerten.
▪ Dovod plina:
Nahaja se na zgornjem ali stranskem delu cevi peči in se uporablja za prenos kisika ali drugih plinov v notranjost cevi peči.
▪ Prirobnica iz nerjavečega jekla:
komponente, ki povezujejo kremenčeve cevi in plinske cevi, kar zagotavlja tesnost in stabilnost povezave.
▪ Dovodne plinske cevi:
Cevi, ki povezujejo MFC z dovodno odprtino za plin za prenos plina.
▪ MFC (regulator masnega pretoka):
Naprava, ki nadzoruje pretok plina znotraj kremenčeve cevi za natančno uravnavanje potrebne količine plina.
▪ Zračnik:
Uporablja se za odvajanje izpušnih plinov iz notranjosti cevi peči na zunanjo stran opreme.
Spodnji del:
▪ Silikonske rezine v držalu:
Silicijeve rezine so nameščene v posebnem držalu, ki zagotavlja enakomerno segrevanje med oksidacijo.
▪ Držalo za oblate:
Uporablja se za držanje silicijeve rezine in zagotavljanje stabilnosti silicijeve rezine med postopkom.
▪ Podstavek:
Struktura, ki drži nosilec silicijeve rezine, običajno izdelana iz materiala, odpornega na visoke temperature.
▪ Dvigalo:
Uporablja se za dvigovanje nosilcev rezin v in iz kvarčnih cevi za samodejno nalaganje in razkladanje silicijevih rezin.
▪ Robot za prenos rezin:
Nahaja se na strani naprave s cevjo peči in se uporablja za samodejno odstranjevanje silicijeve rezine iz škatle in njeno namestitev v cev peči ali za odstranitev po obdelavi.
▪ Vrtiljak za shranjevanje kaset:
Vrtiljak za shranjevanje kaset se uporablja za shranjevanje škatle s silicijevimi rezinami in ga je mogoče zavrteti za dostop robota.
▪ Kaseta z rezinami:
Kaseta z rezinami se uporablja za shranjevanje in prenos silicijevih rezin, ki jih je treba obdelati.
Čas objave: 22. april 2024