Detalizēti izskaidrota krāsns cauruļu aprīkojuma iekšējā struktūra

Kā parādīts iepriekš, ir tipisks

Pirmā puse:

▪ Sildelements (sildīšanas spole):

atrodas ap krāsns cauruli, parasti izgatavots no pretestības stieplēm, ko izmanto krāsns caurules iekšpuses sildīšanai.

▪ Kvarca caurule:

Karstās oksidācijas krāsns kodols, kas izgatavots no augstas tīrības pakāpes kvarca, kas spēj izturēt augstu temperatūru un saglabāt ķīmisku inertu stāvokli.

▪ Gāzes padeve:

Atrodas krāsns caurules augšpusē vai sānos, to izmanto skābekļa vai citu gāzu transportēšanai uz krāsns caurules iekšpusi.

▪ Nerūsošā tērauda atloks:

sastāvdaļas, kas savieno kvarca caurules un gāzes vadus, nodrošinot savienojuma hermētiskumu un stabilitāti.

▪ Gāzes padeves vadi:

Caurules, kas savieno MFC ar gāzes padeves portu gāzes pārvadei.

▪ MFC (masas plūsmas regulators):

Ierīce, kas kontrolē gāzes plūsmu kvarca caurulē, lai precīzi regulētu nepieciešamo gāzes daudzumu.

▪ Ventilācija:

Izmanto, lai izvadītu izplūdes gāzes no krāsns caurules iekšpuses uz iekārtas ārpusi.

Apakšējā daļa:

▪ Silīcija plāksnes turētājā:

Silīcija plāksnes ir ievietotas speciālā turētājā, lai oksidēšanās laikā nodrošinātu vienmērīgu karstumu.

▪ Vafeles turētājs:

Izmanto, lai noturētu silīcija vafeli un nodrošinātu, ka silīcija vafele procesa laikā saglabā stabilitāti.

▪ Pjedestāls:

Struktūra, kurā atrodas silīcija vafeļu turētājs, parasti izgatavots no augstas temperatūras izturīga materiāla.

▪ Lifts:

Izmanto, lai paceltu plākšņu turētājus kvarca caurulēs un izņemtu no tām silīcija plākšņu automātiskai iekraušanai un izkraušanai.

▪ Vafeļu pārneses robots:

Tas atrodas krāsns caurules ierīces sānos un tiek izmantots, lai automātiski izņemtu silīcija plāksni no kastes un ievietotu to krāsns caurulē vai izņemtu to pēc apstrādes.