Ang internal nga istruktura sa kagamitan sa tubo sa hurno gipasabot sa detalye

Sama sa gipakita sa ibabaw, usa kini ka tipikal nga

Ang unang katunga:

▪ Elemento sa Pagpainit (heating coil):

nahimutang sa palibot sa tubo sa hurno, kasagaran hinimo sa mga alambre nga resistensya, nga gigamit sa pagpainit sa sulod sa tubo sa hurno.

▪ Tubo nga Quartz:

Ang kinauyokan sa usa ka init nga oxidation furnace, nga hinimo gikan sa taas nga kaputli nga quartz nga makasugakod sa taas nga temperatura ug magpabiling dili aktibo sa kemikal.

▪ Suplay sa Gas:

Nahimutang sa ibabaw o kilid sa tubo sa hurno, gigamit kini sa pagdala sa oksiheno o uban pang mga gas ngadto sa sulod sa tubo sa hurno.

▪ SS Flange:

mga sangkap nga nagkonektar sa mga tubo sa quartz ug mga linya sa gas, nga nagsiguro sa kahugot ug kalig-on sa koneksyon.

▪ Mga Linya sa Pagpakaon sa Gas:

Mga tubo nga nagkonektar sa MFC ngadto sa pantalan sa suplay sa gas para sa pagpadala sa gas.

▪ MFC (Kontroler sa Pag-agos sa Masa) :

Usa ka himan nga nagkontrol sa pag-agos sa gas sulod sa usa ka tubo nga quartz aron tukmang makontrol ang gidaghanon sa gas nga gikinahanglan.

▪ Buhangin:

Gigamit aron ibuga ang tambutso gikan sa sulod sa tubo sa hurno ngadto sa gawas sa kagamitan.

Ubos nga bahin:

▪ Mga Silicon Wafer sa Tag-iya:

Ang mga silicon wafer gibutang sa usa ka espesyal nga Holder aron masiguro ang parehas nga kainit atol sa oksihenasyon.

▪ Tag-iya sa Wafer:

Gigamit aron kuptan ang silicon wafer ug masiguro nga ang silicon wafer magpabiling lig-on atol sa proseso.

▪ Pedestal:

Usa ka istruktura nga kasudlan sa usa ka silicon wafer Holder, nga kasagarang hinimo sa materyal nga dili masudlan sa taas nga temperatura.

▪ Elevator:

Gigamit sa pag-alsa sa mga Wafer holder pasulod ug pagawas sa mga quartz tube para sa awtomatikong pagkarga ug pagdiskarga sa mga silicon wafer.

▪ Robot sa Pagbalhin sa Wafer:

nahimutang sa kilid sa furnace tube device, gigamit kini aron awtomatikong makuha ang silicon wafer gikan sa kahon ug ibutang kini sa furnace tube, o kuhaon kini pagkahuman sa pagproseso.