המבנה הפנימי של ציוד צינורות התנור מוסבר בפירוט

כפי שמוצג לעיל, הוא טיפוסי

המחצית הראשונה:

▪ גוף חימום (סליל חימום):

הממוקם סביב צינור הכבשן, עשוי בדרך כלל מחוטי התנגדות, המשמש לחימום פנים צינור הכבשן.

▪ שפופרת קוורץ:

ליבת תנור חמצון חם, עשויה קוורץ בעל טוהר גבוה שיכול לעמוד בטמפרטורות גבוהות ולהישאר אינרטי מבחינה כימית.

▪ הזנת גז:

ממוקם בחלק העליון או בצד של צינור הכבשן, הוא משמש להובלת חמצן או גזים אחרים לחלק הפנימי של צינור הכבשן.

▪ אוגן נירוסטה:

רכיבים המחברים צינורות קוורץ וקווי גז, ומבטיחים את אטימות ויציבות החיבור.

▪ קווי הזנת גז:

צינורות המחברים את ה-MFC לפתח אספקת הגז לצורך הולכת גז.

▪ MFC (בקר זרימת מסה):

מכשיר השולט בזרימת הגז בתוך צינור קוורץ כדי לווסת במדויק את כמות הגז הנדרשת.

▪ אוורור:

משמש לפרוק את גזי הפליטה מתוך צינור הכבשן אל מחוץ לציוד.

חלק תחתון:

▪ פרוסות סיליקון במתקן:

פרוסות סיליקון מאוחסנות במחזיק מיוחד כדי להבטיח חום אחיד במהלך החמצון.

▪ מחזיק פרוסות:

משמש להחזקת פרוסות הסיליקון ולהבטחת יציבותן במהלך התהליך.

▪ פדסטל:

מבנה המחזיק פרוסת סיליקון, העשויה בדרך כלל מחומר עמיד לטמפרטורות גבוהות.

▪ מעלית:

משמש להרמת מחזיקי פרוסות סיליקון לתוך והחוצה של צינורות קוורץ לצורך טעינה ופריקה אוטומטיות של פרוסות סיליקון.

▪ רובוט להעברת פרוסות:

ממוקם בצד של התקן צינור התנור, הוא משמש להוצאה אוטומטית של פרוסות הסיליקון מהקופסה והנחתן בצינור התנור, או להוצאתן לאחר העיבוד.

▪ קרוסלה לאחסון קלטות:

קרוסלת אחסון קסטות משמשת לאחסון קופסה המכילה פרוסות סיליקון וניתן לסובב אותה לגישה רובוטית.

▪ קסטה של ​​פרוסות:

קסטה של ​​פרוסות סיליקון משמשת לאחסון והעברה של פרוסות סיליקון לעיבוד.