Gẹ́gẹ́ bí a ti ṣe hàn lókè, ó jẹ́ àṣà ìbílẹ̀
Ìdajì àkọ́kọ́:
▪ Ẹ̀yà ìgbóná (ìkó ìgbóná):
tí ó wà ní àyíká ọ̀pá iná ààrò, tí a sábà máa ń fi àwọn wáyà ìdènà ṣe, tí a máa ń lò láti mú kí inú ọ̀pá iná ààrò náà gbóná.
▪ Ọpọn Quartz:
Aarin ileru oxidation gbigbona, ti a fi quartz mimọ giga ṣe ti o le koju awọn iwọn otutu giga ati pe o duro ni ipo kemikali.
▪ Ìpèsè Gáàsì:
Ó wà ní òkè tàbí ẹ̀gbẹ́ ọ̀pá iná ààrò, wọ́n ń lò ó láti gbé atẹ́gùn tàbí àwọn gáàsì mìíràn lọ sí inú ọ̀pá iná ààrò.
▪ Ẹ̀rọ SS Flange:
Àwọn èròjà tí ó so àwọn ọ̀pọ́ quartz àti àwọn ìlà gaasi pọ̀, tí ó ń rí i dájú pé ìdúróṣinṣin àti ìdúróṣinṣin ti ìsopọ̀ náà wà.
▪ Àwọn Ìlà Ìfúnni Gáàsì:
Àwọn páìpù tí ó so MFC pọ̀ mọ́ ibudo ipese gaasi fún gbigbe gaasi.
▪ MFC (Olùdarí Ìṣàn Gíga) :
Ẹ̀rọ kan tí ó ń ṣàkóso ìṣàn gaasi nínú páìpù quartz láti ṣe àtúnṣe iye gaasi tí a nílò ní pàtó.
▪ Àtẹ́gùn:
A lo lati tu gaasi eefin kuro ninu ọpọn ileru si ita ohun elo naa.
Apa isalẹ:
▪ Àwọn Wáfà Sílíkónì nínú Ohun Ìmúlé:
A fi àwọn wafers silikoni sínú ohun èlò pàtàkì kan láti rí i dájú pé ooru kan náà wà nígbà tí a bá ń ṣe é.
▪ Ohun tí a fi ń gbé wáfárì:
A máa ń lò ó láti mú wafer silicon àti láti rí i dájú pé wafer silicon dúró ṣinṣin nígbà tí a bá ń ṣe é.
▪ Ìrìn Àjò:
Ilé kan tí ó ní ohun èlò ìdènà sílíkónì, tí a sábà máa ń fi ohun èlò tí ó lè kojú ooru gíga ṣe.
▪ Ẹ̀rọ ìdènà:
A lo lati gbe awọn ohun elo Wafer sinu ati jade ninu awọn tube quartz fun fifi ati gbigba awọn wafer silikoni silẹ laifọwọyi.
▪ Rọ́bọ́ọ̀tì Ìgbésẹ̀ Wafer:
tí ó wà ní ẹ̀gbẹ́ ẹ̀rọ ìgbóná, a máa ń lò ó láti yọ ohun èlò ìgbóná silicon kúrò nínú àpótí láìfọwọ́sí kí a sì gbé e sínú ìgbóná iná, tàbí kí a yọ ọ́ kúrò lẹ́yìn tí a bá ti ṣe é tán.
▪ Ìkójọpọ̀ Àworán Ìpamọ́ Káàsì:
A lo àpótí ìpamọ́ kásẹ́ẹ̀tì láti fi pamọ́ àpótí tí ó ní àwọn wafers silicon, a sì lè yí i padà fún róbọ́ọ̀tì láti wọ̀lé.
▪ Kàsẹ́ẹ̀tì Wáfẹ́rì:
A lo kasẹti wafer lati tọju ati gbe awọn wafer silikoni lati ṣe ilana.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹrin-22-2024