تم شرح البنية الداخلية لمعدات أنابيب الفرن بالتفصيل

كما هو موضح أعلاه، هو نموذج نموذجي

النصف الأول:

▪ عنصر التسخين (ملف التسخين):

توجد حول أنبوب الفرن، وعادة ما تكون مصنوعة من أسلاك مقاومة، وتستخدم لتسخين الجزء الداخلي من أنبوب الفرن.

▪ أنبوب كوارتز:

قلب فرن الأكسدة الساخن، مصنوع من الكوارتز عالي النقاء الذي يمكنه تحمل درجات الحرارة العالية ويبقى خاملاً كيميائياً.

▪ تغذية الغاز:

يقع في الجزء العلوي أو الجانبي من أنبوب الفرن، ويستخدم لنقل الأكسجين أو الغازات الأخرى إلى داخل أنبوب الفرن.

▪ شفة من الفولاذ المقاوم للصدأ:

المكونات التي تربط أنابيب الكوارتز وخطوط الغاز، مما يضمن إحكام واستقرار الوصلة.

▪ خطوط تغذية الغاز:

الأنابيب التي تربط وحدة التحكم في تدفق الغاز بمنفذ إمداد الغاز لنقل الغاز.

▪ وحدة التحكم في التدفق الكتلي (MFC):

جهاز يتحكم في تدفق الغاز داخل أنبوب كوارتز لتنظيم كمية الغاز المطلوبة بدقة.

▪ فتحة تهوية:

يستخدم لتهوية غاز العادم من داخل أنبوب الفرن إلى خارج الجهاز.

الجزء السفلي:

▪ رقائق السيليكون في الحامل:

يتم وضع رقائق السيليكون في حامل خاص لضمان توزيع الحرارة بشكل متساوٍ أثناء عملية الأكسدة.

▪ حامل الرقاقة:

يستخدم لتثبيت رقاقة السيليكون وضمان بقاء رقاقة السيليكون مستقرة أثناء العملية.

▪ قاعدة التمثال:

هيكل يحمل رقاقة السيليكون، وعادة ما يكون مصنوعًا من مادة مقاومة لدرجات الحرارة العالية.

▪ المصعد:

تُستخدم لرفع حوامل الرقائق داخل وخارج أنابيب الكوارتز للتحميل والتفريغ التلقائي لرقائق السيليكون.

▪ روبوت نقل الرقاقات:

يوجد على جانب جهاز أنبوب الفرن، ويستخدم لإزالة رقاقة السيليكون تلقائيًا من الصندوق ووضعها في أنبوب الفرن، أو إزالتها بعد المعالجة.

▪ وحدة تخزين الكاسيت الدوارة:

تُستخدم وحدة تخزين الكاسيت الدوارة لتخزين صندوق يحتوي على رقائق السيليكون ويمكن تدويرها لتسهيل وصول الروبوت إليها.

▪ شريط رقائق الويفر:

تُستخدم علبة الرقائق لتخزين ونقل رقائق السيليكون المراد معالجتها.