Kiel montrite supre, estas tipa
La unua duono:
▪ Hejtelemento (hejta volvaĵo):
situanta ĉirkaŭ la forntubo, kutime farita el rezistancaj dratoj, uzata por varmigi la internon de la forntubo.
▪ Kvarca Tubo:
La kerno de varmega oksidiĝa forno, farita el altpureca kvarco, kiu povas elteni altajn temperaturojn kaj resti kemie inerta.
▪ Gaso-Alimento:
Situanta ĉe la supra aŭ flanko de la forntubo, ĝi estas uzata por transporti oksigenon aŭ aliajn gasojn al la interno de la forntubo.
▪ SS-flanĝo:
komponantoj kiuj konektas kvarcajn tubojn kaj gasliniojn, certigante la streĉecon kaj stabilecon de la konekto.
▪ Gasaj Nutraj Linioj:
Tuboj kiuj konektas la MFC-on al la gasproviza haveno por gastransporto.
▪ MFC (Amasflua Regilo):
Aparato kiu regas la fluon de gaso ene de kvarca tubo por precize reguligi la kvanton da gaso bezonata.
▪ Ventolu:
Uzata por eligi la ellasgason de ene de la forntubo al la ekstero de la ekipaĵo.
Malsupra parto:
▪ Silikonaj Obleoj en Tenilo:
Siliciaj opaletoj estas enhavitaj en speciala tenilo por certigi unuforman varmon dum oksidado.
▪ Oblate-tenilo:
Uzata por teni la silician oblateton kaj certigi, ke la silicia oblateto restas stabila dum la procezo.
▪ Piedestalo:
Strukturo, kiu tenas silician oplateton, kutime farita el alt-temperatur-rezista materialo.
▪ Lifto:
Uzata por levi oblettenilojn en kaj el kvarcaj tuboj por aŭtomata ŝarĝado kaj malŝarĝado de siliciaj obletoj.
▪ Roboto por Translokigo de Oblatetoj:
situanta flanke de la forna tuba aparato, ĝi estas uzata por aŭtomate forigi la silician obleon el la skatolo kaj meti ĝin en la fornan tubon, aŭ forigi ĝin post prilaborado.
▪ Kaseda Stokado-Karuselo:
Kaseda stokadkaruselo estas uzata por stoki skatolon enhavantan siliciajn obleojn kaj povas esti rotaciita por robota aliro.
▪ Oblata Kasedo:
silicia kasedo estas uzata por stoki kaj translokigi la siliciajn siliciajn obleojn por prilabori.
Afiŝtempo: 22-a de aprilo 2024