المنت گرمایش ویفر سرامیکی AlN آلومینا
در تولید نیمههادیها، ویفرها باید در فرآیندهای مختلفی مانند رسوب لایه نازک، اچینگ و غیره پردازش شوند. در این پیوندها، ویفرها باید تا دمای خاصی گرم شوند و الزامات سختگیرانهای برای دما وجود دارد، زیرا یکنواختی دما تأثیر بسیار مهمی بر عملکرد محصول دارد و اجزای گرمایشی ضروری هستند.
بخاری سرامیکیمستقیماً به محفظه فرآیند اعمال میشود و در تماس مستقیم با ویفر است. آنها نه تنها ویفر را حمل میکنند، بلکه تضمین میکنند که ویفر دمای فرآیندی پایدار و یکنواختی را به دست آورد. آنها اجزای کلیدی در تجهیزات رسوب لایه نازک نیمههادی هستند!
بخاری سرامیکی شامل یک پایه سرامیکی است که از ویفر پشتیبانی میکند و یک بدنه استوانهای در پشت آن که از آن پشتیبانی میکند. علاوه بر عنصر مقاومتی (لایه گرمایش) برای گرمایش، الکترودهای فرکانس رادیویی (لایه RF) نیز در داخل یا روی سطح پایه سرامیکی وجود دارد. برای دستیابی به گرمایش و سرمایش سریع، ضخامت پایه سرامیکی باید نازک باشد، اما نازکی بیش از حد نیز باعث کاهش استحکام میشود.
تکیهگاه بخاری سرامیکی عموماً از مواد سرامیکی با ضریب انبساط حرارتی مشابه با پایه ساخته شده است. بخاری از ساختار منحصر به فرد اتصال شفت در پایین برای محافظت از ترمینالها و سیمها در برابر اثرات پلاسما و گازهای شیمیایی خورنده استفاده میکند. این تکیهگاه به یک لوله ورودی و خروجی گاز انتقال حرارت مجهز شده است تا دمای یکنواخت بخاری را تضمین کند. پایه و تکیهگاه با یک لایه پیوند شیمیایی به هم متصل شدهاند.
بخاری سرامیکی میتواند از سرامیکهایی مانند نیترید آلومینیوم (AlN)، نیترید سیلیکون (Si3N4) و آلومینا (Al2O3) ساخته شود. در میان آنها، AlN بهترین انتخاب برای بخاریهای سرامیکی است. در مقایسه با سایر مواد، سرامیک AlN شرکت VET Energy دارای ویژگیهای زیر است:
(1) رسانایی حرارتی خوب؛
(2) ضریب انبساط حرارتی منطبق با مواد سیلیکونی نیمههادی؛
(3) خواص مکانیکی خوب، مقاومت در برابر سایش عالی و خواص مکانیکی جامع بهتر از اکسید بریلیم و معادل اکسید آلومینیوم است.
(4) خواص الکتریکی جامع عالی، عایق الکتریکی عالی و تلفات دی الکتریک کم؛
(5) غیرسمی و سازگار با محیط زیست.
برگه اطلاعات مواد سرامیکی
| مورد | ۹۵٪ آلومینا | ۹۹٪ آلومینا | زیرکونیا | کاربید سیلیکون | سیلیکونNایترید | آلومینیومNایترید |
| رنگ | سفید | زرد روشن | سفید | سیاه | سیاه | خاکستری |
| چگالی (گرم بر سانتیمتر مکعب) | ۳.۷ گرم بر سانتیمتر مکعب | ۳.۹ گرم بر سانتیمتر مکعب | 6.02 گرم بر سانتیمتر مکعب | ۳.۲ گرم بر سانتیمتر مکعب | ۳.۲۵ گرم بر سانتیمتر مکعب | ۳.۲ گرم بر سانتیمتر مکعب |
| جذب آب | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| سختی (HV) | ۲۳.۷ | ۲۳.۷ | ۱۶.۵ | 33 | 20 | - |
| استحکام خمشی (مگاپاسکال) | 300 مگاپاسکال | ۴۰۰ مگاپاسکال | 1100 مگاپاسکال | 450 مگاپاسکال | 800 مگاپاسکال | ۳۱۰ مگاپاسکال |
| مقاومت فشاری (مگاپاسکال) | ۲۵۰۰ مگاپاسکال | ۲۸۰۰ مگاپاسکال | ۳۶۰۰ مگاپاسکال | ۲۰۰۰ مگاپاسکال | ۲۶۰۰ مگاپاسکال | - |
| مدول الاستیسیته یانگ | ۳۰۰ گیگا پاسکال | ۳۰۰ گیگا پاسکال | ۳۲۰ گیگا پاسکال | ۴۵۰ گیگا پاسکال | ۲۹۰ گیگا پاسکال | ۳۱۰ تا ۳۵۰ گیگا پاسکال |
| نسبت پواسون | ۰.۲۳ | ۰.۲۳ | ۰.۲۵ | ۰.۱۴ | ۰.۲۴ | ۰.۲۴ |
| رسانایی حرارتی | 20 وات بر متر مربع درجه سانتیگراد | ۳۲ وات بر متر مربع درجه سانتیگراد | 3 وات بر متر مربع درجه سانتیگراد | 50 وات بر متر مربع درجه سانتیگراد | 25 وات بر متر مربع درجه سانتیگراد | ۱۵۰ وات بر متر مربع درجه سانتیگراد |
| مقاومت دی الکتریک | ۱۴ کیلوولت بر میلیمتر | ۱۴ کیلوولت بر میلیمتر | ۱۴ کیلوولت بر میلیمتر | ۱۴ کیلوولت بر میلیمتر | ۱۴ کیلوولت بر میلیمتر | ۱۴ کیلوولت بر میلیمتر |
| مقاومت ویژه حجمی (25℃) | >1014Ω·سانتی متر | >1014Ω·سانتی متر | >1014Ω·سانتی متر | >105Ω·سانتیمتر | >1014Ω·سانتی متر | >1014Ω·سانتی متر |
شرکت VET Energy یک تولیدکننده حرفهای است که بر تحقیق و توسعه و تولید مواد پیشرفته با کیفیت بالا مانند گرافیت، کاربید سیلیکون، کوارتز و همچنین عملیات حرارتی مواد مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشهای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره تمرکز دارد. این محصولات به طور گسترده در صنایع فتوولتائیک، نیمههادیها، انرژیهای نو، متالورژی و غیره مورد استفاده قرار میگیرند.
تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی تشکیل شده است و میتواند راهحلهای حرفهایتری برای شما ارائه دهد.
مزایای انرژی VET شامل موارد زیر است:
• کارخانه و آزمایشگاه تخصصی اختصاصی؛
• سطوح خلوص و کیفیت پیشرو در صنعت؛
• قیمت رقابتی و زمان تحویل سریع؛
• مشارکتهای صنعتی متعدد در سراسر جهان؛
ما از شما استقبال میکنیم تا در هر زمانی از کارخانه و آزمایشگاه ما بازدید کنید!
