SiC-coated grafyt healmoanne-ûnderdielis in kaaikomponint dat brûkt wurdt yn healgeleiderproduksjeprosessen, benammen foar SiC epitaksiale apparatuer. It strukturele ûntwerp en de materiaaleigenskippen bepale direkt de kwaliteit en produksjeeffisjinsje fan epitaksiale wafers.
Konstruksje fan 'e reaksjekeamer:
It healmoannediel bestiet út twa dielen, it boppeste en ûnderste diel, dy't oaninoar bûgd binne om in sletten groeikeamer te foarmjen, dy't it silisiumkarbidsubstraat (meastal 4H-SiC of 6H-SiC) befettet en epitaksiale laachgroei berikt troch it gasstreamfjild presys te kontrolearjen (lykas in mingsel fan SiH₄, C₃H₈ en H₂).
Temperatuerfjildregeling:
De heechsuvere grafytbasis yn kombinaasje mei de ynduksjeferwaarmingsspoel kin de keamertemperatueruniformiteit (binnen ± 5 °C) behâlde by in hege temperatuer fan 1500-1700 °C om de konsistinsje fan 'e dikte fan' e epitaksiale laach te garandearjen.
Begelieding foar loftstream:
Troch it ûntwerpen fan 'e posysje fan' e loftynlaat en -útlaat (lykas de sydluchtynlaat en boppeste luchtútlaat fan it horizontale ovenlichem), wurdt de laminêre stream fan it reaksjegas troch it substraatoerflak laat om groeidefekten feroarsake troch turbulinsje te ferminderjen.
Basismateriaal: grafyt mei hege suverens
Suverenseasken:koalstofynhâld ≥99.99%, jiskeynhâld ≤5ppm, om te soargjen dat der gjin ûnreinheden delslach wurde om de epitaksiale laach by hege temperatueren te fersmoargjen.
Prestaasjefoardielen:
Hege termyske geliedingsfermogen:De termyske geliedingsfermogen by keamertemperatuer berikt 150W/(m・K), wat tichtby it nivo fan koper leit en waarmte fluch oerdrage kin.
Lege útwreidingskoëffisjint:5×10-6/℃ (25-1000℃), oerienkommende mei it silisiumkarbide substraat (4.2 × 10-6/℃), wêrtroch it kraken fan 'e coating feroarsake troch termyske stress wurdt fermindere.
Ferwurkingsnauwkeurigens:In dimensjonele tolerânsje fan ± 0,05 mm wurdt berikt troch CNC-ferwurking om de ôfsluting fan 'e keamer te garandearjen.
Differinsjearre tapassingen fan CVD SiC en CVD TaC
| Bekleding | Proses | Fergeliking | Typyske tapassing |
| CVD-SiC | Temperatuer: 1000-1200 ℃ Druk: 10-100 Torr | Hurdens HV2500, dikte 50-100um, poerbêste oksidaasjebestriding (stabyl ûnder 1600 ℃) | Universele epitaksiale ovens, geskikt foar konvinsjonele atmosfearen lykas wetterstof en silaan |
| CVD-TaC | Temperatuer: 1600-1800 ℃ Druk: 1-10 Torr | Hurdens HV3000, dikte 20-50um, ekstreem korrosjebestindich (kin korrosive gassen lykas HCl, NH₃, ensfh. wjerstean) | Heech korrosive omjouwings (lykas GaN-epitaxy en etsapparatuer), of spesjale prosessen dy't ultrahege temperatueren fan 2600 °C fereaskje |
VET Energy is in profesjonele fabrikant dy't him rjochtet op R&D en produksje fan high-end avansearre materialen lykas grafyt, silisiumkarbid, kwarts, en ek materiaalbehanneling lykas SiC-coating, TaC-coating, glêzige koalstofcoating, pyrolytyske koalstofcoating, ensfh. De produkten wurde in soad brûkt yn fotovoltaïsche enerzjy, healgeleiders, nije enerzjy, metallurgy, ensfh.
Us technysk team komt fan top ynlânske ûndersyksynstellingen, kin mear profesjonele materiaaloplossingen foar jo leverje.
Foardielen fan VET Energy omfetsje:
• Eigen fabryk en profesjoneel laboratoarium;
• Yndustryliedende suverheidsnivo's en kwaliteit;
• Kompetitive priis & Snelle levertiid;
• Meardere yndustrypartnerskippen wrâldwiid;
Wy ferwolkomje jo om ús fabryk en laboratoarium op elk momint te besykjen!
