Peça i muntatge de mitja lluna de grafit recobert de SiC per a epitaxia de SiC

Descripció breu:

VET Energy és un fabricant i proveïdor professional de components bàsics de forns epitaxials de carbur de silici. El nostre conjunt de mitja lluna utilitza un grafit d'alta puresa combinat amb una tecnologia avançada de recobriment CVD. Està dissenyat per a entorns epitaxials d'alta temperatura i altament corrosius. El grafit d'alta puresa proporciona al component una excel·lent resistència a altes temperatures (>1600 ℃) i estabilitat tèrmica, garantint la uniformitat del camp tèrmic; el recobriment CVD forma una densa capa protectora a la superfície mitjançant la tecnologia CVD, millorant significativament les propietats antioxidants i antigravades, i allargant la vida útil en més de 3 vegades.

Material:Grafit d'alta puresa

Tractament:Recobriment CVD-SiC o CVD-TaC

Personalització:Disponible

Envia'ns un correu electrònic Descarrega com a PDF

Detall del producte

Etiquetes de producte

Part de mitja lluna de grafit recoberta de SiCés un component clau utilitzat en els processos de fabricació de semiconductors, especialment per a equips epitaxials de SiC. El seu disseny estructural i les seves propietats materials determinen directament la qualitat i l'eficiència de producció de les oblies epitaxials.

Construcció de la cambra de reacció:
La part de mitja lluna està composta de dues parts, la part superior i la inferior, que s'uneixen per formar una cambra de creixement tancada, que allotja el substrat de carbur de silici (normalment 4H-SiC o 6H-SiC) i aconsegueix el creixement de la capa epitaxial controlant amb precisió el camp de flux de gas (com ara una barreja de SiH₄, C₃H₈ i H₂).
Regulació del camp de temperatura:
La base de grafit d'alta puresa combinada amb la bobina d'escalfament per inducció pot mantenir la uniformitat de la temperatura de la cambra (dins de ±5 °C) a una temperatura alta de 1500-1700 °C per garantir la consistència del gruix de la capa epitaxial.
Guia del flux d'aire:
Dissenyant la posició de l'entrada i sortida d'aire (com ara l'entrada d'aire lateral i la sortida d'aire superior del cos horitzontal del forn), el flux laminar de gas de reacció es guia a través de la superfície del substrat per reduir els defectes de creixement causats per la turbulència.

Material base: grafit d'alta puresa
Requisits de puresa:contingut de carboni ≥99,99%, contingut de cendres ≤5ppm, per garantir que no precipitin impureses que contaminin la capa epitaxial a altes temperatures.
Avantatges de rendiment:
Alta conductivitat tèrmica:La conductivitat tèrmica a temperatura ambient arriba als 150 W/(m・K), que és propera al nivell del coure i pot transferir calor ràpidament.
Coeficient d'expansió baix:5×10^-6/℃ (25-1000℃), coincidint amb el substrat de carbur de silici (4,2 × 10^-6/℃), reduint l'esquerdament del recobriment causat per l'estrès tèrmic.
Precisió del processament:Mitjançant el mecanitzat CNC s'aconsegueix una tolerància dimensional de ±0,05 mm per garantir el segellat de la cambra.

Aplicacions diferenciades de CVD SiC i CVD TaC

Revestiment	Procés	Comparació	Aplicació típica
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200 ℃ Pressió: 10-100 Torr	Duresa HV2500, gruix 50-100um, excel·lent resistència a l'oxidació (estable per sota de 1600 ℃)	Forns epitaxials universals, adequats per a atmosferes convencionals com ara hidrogen i silà
Tac cardiovascular	Temperatura: 1600-1800 ℃ Pressió: 1-10 Torr	Duresa HV3000, gruix 20-50um, extremadament resistent a la corrosió (pot suportar gasos corrosius com HCl, NH₃, etc.)	Ambients altament corrosius (com ara equips d'epitaxia i gravat de GaN) o processos especials que requereixen temperatures ultra altes de 2600 °C

VET Energy és un fabricant professional centrat en la R+D i la producció de materials avançats d'alta gamma com ara grafit, carbur de silici, quars, així com el tractament de materials com ara recobriment de SiC, recobriment de TaC, recobriment de carboni vitri, recobriment de carboni pirolític, etc. Els productes s'utilitzen àmpliament en fotovoltaica, semiconductors, noves energies, metal·lúrgia, etc.

El nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals i us pot proporcionar solucions de materials més professionals.

Els avantatges energètics de VET inclouen:
• Fàbrica pròpia i laboratori professional;
• Nivells de puresa i qualitat líders en la indústria;
• Preu competitiu i termini de lliurament ràpid;
• Múltiples associacions industrials a tot el món;

Us convidem a visitar la nostra fàbrica i laboratori en qualsevol moment!