SiC لیپت گریفائٹ ہاف مون حصہسیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں استعمال ہونے والا ایک کلیدی جزو ہے، خاص طور پر SiC ایپیٹیکسیل آلات کے لیے۔ اس کا ساختی ڈیزائن اور مادی خصوصیات براہ راست epitaxial wafers کے معیار اور پیداواری کارکردگی کا تعین کرتی ہیں۔
رد عمل چیمبر کی تعمیر:
آدھے چاند کا حصہ دو حصوں پر مشتمل ہوتا ہے، اوپری اور نیچے والے حصے، جو ایک بند گروتھ چیمبر بنانے کے لیے ایک دوسرے کے ساتھ جڑے ہوتے ہیں، جو سیلیکون کاربائیڈ سبسٹریٹ (عام طور پر 4H-SiC یا 6H-SiC) کو ایڈجسٹ کرتا ہے اور گیس کے بہاؤ کی فیلڈ کو درست طریقے سے کنٹرول کر کے ایپیٹیکسیل پرت کی ترقی کو حاصل کرتا ہے اور H₂)۔
درجہ حرارت فیلڈ ریگولیشن:
انڈکشن ہیٹنگ کوائل کے ساتھ مل کر اعلی پاکیزگی والا گریفائٹ بیس 1500-1700 °C کے اعلی درجہ حرارت پر چیمبر کے درجہ حرارت کی یکسانیت (±5 ° C کے اندر) کو برقرار رکھ سکتا ہے تاکہ ایپیٹیکسیل پرت کی موٹائی کی مستقل مزاجی کو یقینی بنایا جا سکے۔
ہوا کے بہاؤ کی رہنمائی:
ایئر انلیٹ اور آؤٹ لیٹ کی پوزیشن کو ڈیزائن کرکے (جیسے کہ افقی فرنس باڈی کا سائیڈ ایئر انلیٹ اور ٹاپ ایئر آؤٹ لیٹ)، رد عمل گیس لیمینر کے بہاؤ کو سبسٹریٹ سطح کے ذریعے گائیڈ کیا جاتا ہے تاکہ ہنگامہ آرائی کی وجہ سے پیدا ہونے والے نمو کو کم کیا جا سکے۔
بنیادی مواد: اعلی طہارت گریفائٹ
طہارت کے تقاضے:کاربن کا مواد ≥99.99%، راکھ کا مواد ≤5ppm، اس بات کو یقینی بنانے کے لیے کہ اعلی درجہ حرارت پر ایپیٹیکسیل تہہ کو آلودہ کرنے کے لیے کوئی نجاست پیدا نہ ہو۔
کارکردگی کے فوائد:
اعلی تھرمل چالکتا:کمرے کے درجہ حرارت پر تھرمل چالکتا 150W/(m・K) تک پہنچ جاتی ہے، جو کہ تانبے کی سطح کے قریب ہے اور تیزی سے حرارت منتقل کر سکتی ہے۔
کم توسیع گتانک:5×10-6/℃ (25-1000℃)، سلکان کاربائیڈ سبسٹریٹ سے مماثل (4.2×10)-6/℃)، تھرمل تناؤ کی وجہ سے کوٹنگ کے کریکنگ کو کم کرنا۔
پروسیسنگ کی درستگی:چیمبر کی سیلنگ کو یقینی بنانے کے لیے CNC مشینی کے ذریعے ±0.05mm کی جہتی رواداری حاصل کی جاتی ہے۔
CVD SiC اور CVD TaC کی مختلف ایپلی کیشنز
| کوٹنگ | عمل | موازنہ | عام درخواست |
| CVD-SiC | درجہ حرارت: 1000-1200℃ دباؤ: 10-100 ٹور | سختی HV2500، موٹائی 50-100um، بہترین آکسیکرن مزاحمت (1600℃ سے نیچے مستحکم) | یونیورسل ایپیٹیکسیل فرنس، روایتی ماحول جیسے ہائیڈروجن اور سائلین کے لیے موزوں |
| CVD-TaC | درجہ حرارت: 1600-1800℃ دباؤ: 1-10 ٹور | سختی HV3000، موٹائی 20-50um، انتہائی سنکنرن مزاحم (سنکن گیسوں جیسے HCl، NH₃، وغیرہ کو برداشت کر سکتی ہے) | انتہائی سنکنار ماحول (جیسے GaN ایپیٹیکسی اور اینچنگ کا سامان)، یا خاص عمل جن کے لیے 2600 ° C کے انتہائی اعلی درجہ حرارت کی ضرورت ہوتی ہے۔ |
VET Energy ایک پیشہ ور کارخانہ دار ہے جو R&D اور اعلی درجے کے جدید مواد جیسے گریفائٹ، سلکان کاربائیڈ، کوارٹز کی تیاری پر توجہ مرکوز کرتا ہے، نیز مادی علاج جیسے SiC کوٹنگ، TaC کوٹنگ، گلاسی کاربن کوٹنگ، پائرولائٹک کاربن کوٹنگ، وغیرہ۔ مصنوعات فوٹو وولٹک، انرجی، سیمی کنڈکٹر، نئی توانائی میں وسیع پیمانے پر استعمال ہوتی ہیں۔
ہماری تکنیکی ٹیم اعلیٰ ملکی تحقیقی اداروں سے آتی ہے، آپ کے لیے مزید پیشہ ورانہ مادی حل فراہم کر سکتی ہے۔
VET توانائی کے فوائد میں شامل ہیں:
• اپنی فیکٹری اور پیشہ ور لیبارٹری؛
• صنعت کی معروف طہارت کی سطح اور معیار؛
• مسابقتی قیمت اور تیز ترسیل کا وقت؛
• دنیا بھر میں متعدد صنعتی شراکتیں؛
ہم آپ کو کسی بھی وقت ہماری فیکٹری اور لیبارٹری کا دورہ کرنے کا خیرمقدم کرتے ہیں!
