ផ្នែកពាក់កណ្តាលព្រះច័ន្ទក្រាហ្វីតស្រោបដោយ SiC និងគ្រឿងបង្គុំសម្រាប់ SiC Epitaxy

រូបភាពពិសេសនៃផ្នែកពាក់កណ្តាលព្រះច័ន្ទក្រាហ្វីតស្រោបដោយ SiC និងគ្រឿងបង្គុំសម្រាប់ SiC Epitax

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

ក្រុមហ៊ុន VET Energy គឺជាក្រុមហ៊ុនផលិត និងផ្គត់ផ្គង់គ្រឿងបន្លាស់ស្នូលដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈនៃឡដុតស៊ីលីកុនកាបៃ។ ការផ្គុំពាក់កណ្តាលព្រះច័ន្ទរបស់យើងប្រើប្រាស់ក្រាហ្វីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់រួមផ្សំជាមួយនឹងបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត CVD ទំនើប។ វាត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់បរិស្ថានដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងមានការច្រេះខ្លាំង។ ក្រាហ្វីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ផ្តល់ឱ្យសមាសធាតុនូវភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ (>1600℃) និងស្ថេរភាពកម្ដៅ ដែលធានាបាននូវឯកសណ្ឋានវាលកម្ដៅ។ ថ្នាំកូត CVD បង្កើតជាស្រទាប់ការពារក្រាស់នៅលើផ្ទៃតាមរយៈបច្ចេកវិទ្យា CVD ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវលក្ខណៈសម្បត្តិប្រឆាំងនឹងអុកស៊ីតកម្ម និងប្រឆាំងនឹងការឆ្លាក់ និងពន្យារអាយុកាលសេវាកម្មជាង 3 ដង។

សម្ភារៈ៖ក្រាហ្វីតភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់

ការព្យាបាល៖ថ្នាំកូត CVD-SiC ឬ CVD-TaC

ការប្ដូរតាមបំណង៖មាន

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង ទាញយកជា PDF

ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

ផ្នែកពាក់កណ្តាលព្រះច័ន្ទក្រាហ្វីតស្រោបដោយ SiCគឺជាសមាសធាតុសំខាន់មួយដែលប្រើក្នុងដំណើរការផលិតស៊ីមីកុងដុកទ័រ ជាពិសេសសម្រាប់ឧបករណ៍ស៊ីភីយូអេពីតាក់ស៊ីល។ ការរចនារចនាសម្ព័ន្ធ និងលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈរបស់វាកំណត់ដោយផ្ទាល់នូវគុណភាព និងប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មនៃបន្ទះអេពីតាក់ស៊ី។

ការសាងសង់បន្ទប់ប្រតិកម្ម៖
ផ្នែកពាក់កណ្តាលព្រះច័ន្ទត្រូវបានផ្សំឡើងពីពីរផ្នែក គឺផ្នែកខាងលើ និងផ្នែកខាងក្រោម ដែលត្រូវបានចងភ្ជាប់គ្នាដើម្បីបង្កើតជាបន្ទប់លូតលាស់បិទជិត ដែលផ្ទុកស្រទាប់ស៊ីលីកុនកាប៊ីយ (ជាធម្មតា 4H-SiC ឬ 6H-SiC) និងសម្រេចបាននូវការលូតលាស់ស្រទាប់ epitaxial ដោយគ្រប់គ្រងវាលលំហូរឧស្ម័នយ៉ាងច្បាស់លាស់ (ដូចជាល្បាយនៃ SiH₄, C₃H₈ និង H₂)។
ការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពវាល៖
មូលដ្ឋានក្រាហ្វីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់រួមផ្សំជាមួយនឹងឧបករណ៍កម្តៅអាំងឌុចស្យុងអាចរក្សាបាននូវឯកសណ្ឋានសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ (ក្នុងរង្វង់ ±5°C) នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ 1500-1700°C ដើម្បីធានាបាននូវភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃកម្រាស់ស្រទាប់អេពីតាស៊ីល។
ការណែនាំអំពីលំហូរខ្យល់៖
តាមរយៈការរចនាទីតាំងនៃច្រកចូល និងច្រកចេញខ្យល់ (ដូចជាច្រកចូលខ្យល់ចំហៀង និងច្រកចេញខ្យល់ខាងលើនៃតួឡចំហាយផ្ដេក) លំហូរឡាមីណាឧស្ម័នប្រតិកម្មត្រូវបានដឹកនាំតាមរយៈផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម ដើម្បីកាត់បន្ថយពិការភាពនៃការលូតលាស់ដែលបណ្តាលមកពីភាពច្របូកច្របល់។

សម្ភារៈមូលដ្ឋាន៖ ក្រាហ្វីតភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់
តម្រូវការសម្រាប់ភាពបរិសុទ្ធ៖មាតិកាកាបូន ≥99.99% មាតិកាផេះ ≤5ppm ដើម្បីធានាថាគ្មានភាពមិនបរិសុទ្ធណាមួយត្រូវបានធ្លាក់ចូលទៅក្នុងស្រទាប់ epitaxial នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់នោះទេ។
គុណសម្បត្តិនៃការអនុវត្ត៖
ចរន្តកំដៅខ្ពស់៖ចរន្តកំដៅនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់ឈានដល់ 150W/(m・K) ដែលជិតនឹងកម្រិតទង់ដែង ហើយអាចផ្ទេរកំដៅបានយ៉ាងឆាប់រហ័ស។
មេគុណពង្រីកទាប៖៥ × ១០^-6/℃ (25-1000℃) ដែលត្រូវគ្នានឹងស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាប៊ីត (4.2×10^-6/℃) ដែលកាត់បន្ថយការប្រេះនៃថ្នាំកូតដែលបណ្តាលមកពីភាពតានតឹងកម្ដៅ។
ភាពត្រឹមត្រូវនៃដំណើរការ៖ការអត់ធ្មត់វិមាត្រ ±0.05 ម.ម ត្រូវបានសម្រេចតាមរយៈម៉ាស៊ីន CNC ដើម្បីធានាបាននូវការផ្សាភ្ជាប់នៃបន្ទប់។

កម្មវិធីផ្សេងៗគ្នានៃ CVD SiC និង CVD TaC

ថ្នាំកូត	ដំណើរការ	ការប្រៀបធៀប	កម្មវិធីធម្មតា
CVD-SiC	សីតុណ្ហភាព៖ ១០០០-១២០០ ℃ សម្ពាធ៖ ១០-១០០ Torr	ភាពរឹង HV2500 កម្រាស់ 50-100um ធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មដ៏ល្អឥតខ្ចោះ (មានស្ថេរភាពក្រោម 1600 ℃)	ឡដុតអេពីតាក់ស៊ីជាសកល សមស្របសម្រាប់បរិយាកាសធម្មតាដូចជាអ៊ីដ្រូសែន និងស៊ីឡាន
CVD-TaC	សីតុណ្ហភាព៖ ១៦០០-១៨០០ ℃ សម្ពាធ៖ ១-១០ Torr	ភាពរឹង HV3000 កម្រាស់ 20-50um ធន់នឹងការច្រេះខ្លាំង (អាចទប់ទល់នឹងឧស្ម័នច្រេះដូចជា HCl, NH₃ ជាដើម)	បរិស្ថានដែលមានការច្រេះខ្លាំង (ដូចជាឧបករណ៍ GaN epitaxy និង etching) ឬដំណើរការពិសេសដែលតម្រូវឱ្យមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់បំផុត 2600°C

ក្រុមហ៊ុន VET Energy គឺជាក្រុមហ៊ុនផលិតដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈ ដែលផ្តោតលើការស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ (R&D) និងការផលិតវត្ថុធាតុដើមទំនើបៗដូចជា ក្រាហ្វីត ស៊ីលីកុនកាប៊ីដ ក្វាតស៍ ក៏ដូចជាការព្យាបាលវត្ថុធាតុដើមដូចជាថ្នាំកូត SiC ថ្នាំកូត TaC ថ្នាំកូតកាបូនកញ្ចក់ ថ្នាំកូតកាបូនពីរ៉ូលីទិកជាដើម។ ផលិតផលទាំងនេះត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងវិស័យ photovoltaic អេឡិចត្រូនិកពាក់កណ្តាលខ្លួន ថាមពលថ្មី លោហធាតុជាដើម។

ក្រុមបច្ចេកទេសរបស់យើងមកពីស្ថាប័នស្រាវជ្រាវក្នុងស្រុកកំពូលៗ អាចផ្តល់នូវដំណោះស្រាយសម្ភារៈប្រកបដោយវិជ្ជាជីវៈបន្ថែមទៀតសម្រាប់អ្នក។

អត្ថប្រយោជន៍ថាមពល VET រួមមាន៖
• រោងចក្រ និងមន្ទីរពិសោធន៍ជំនាញផ្ទាល់ខ្លួន;
• កម្រិត និងគុណភាពនៃភាពបរិសុទ្ធឈានមុខគេក្នុងឧស្សាហកម្ម;
• តម្លៃប្រកួតប្រជែង និងពេលវេលាដឹកជញ្ជូនលឿន;
• ភាពជាដៃគូឧស្សាហកម្មច្រើននៅទូទាំងពិភពលោក;

យើងខ្ញុំសូមស្វាគមន៍លោកអ្នកមកទស្សនារោងចក្រ និងមន្ទីរពិសោធន៍របស់យើងខ្ញុំគ្រប់ពេលវេលា!