Ampahany sy fivoriamben'ny Grafita Misarona SiC ho an'ny Epitaxy SiC

Ampahany Halfmoon vita amin'ny grafita voarakotra SiCdia singa fototra ampiasaina amin'ny fizotran'ny famokarana semiconductor, indrindra ho an'ny fitaovana epitaxial SiC. Ny endriny ara-drafitra sy ny toetran'ny akorany no mamaritra mivantana ny kalitao sy ny fahombiazan'ny famokarana wafers epitaxial.

Fanamboarana efitrano fanehoan-kevitra:
Ny ampahan'ny volana antsasany dia misy ampahany roa, ny ampahany ambony sy ambany, izay mifamatotra mba hamorona efitrano fitomboana mihidy, izay mandray ny substrate silicon carbide (matetika 4H-SiC na 6H-SiC) ary mahatratra ny fitomboan'ny sosona epitaxial amin'ny alàlan'ny fanaraha-maso tsara ny saha fikorianan'ny entona (toy ny fifangaroan'ny SiH₄, C₃H₈, ary H₂).
Fitsipika momba ny mari-pana:
Ny fotony grafita madio avo lenta miaraka amin'ny bobine fanafanana induction dia afaka mitazona ny fitoviana amin'ny mari-pana ao amin'ny efitrano (ao anatin'ny ±5°C) amin'ny mari-pana avo 1500-1700°C mba hahazoana antoka ny tsy fitoviana amin'ny hatevin'ny sosona epitaxial.
Torolàlana momba ny fikorianan'ny rivotra:
Amin'ny alàlan'ny famolavolana ny toerana fidiran'ny rivotra sy ny fivoahany (toy ny fidiran'ny rivotra amin'ny ilany sy ny fivoahan'ny rivotra ambony amin'ny vatan'ny lafaoro mitsivalana), dia tarihina manerana ny velaran'ny substrate ny fikorianan'ny entona mihetsika mba hampihenana ny lesoka amin'ny fitomboana vokatry ny fikorontanan'ny rivotra.

Akora fototra: grafita madio avo lenta
Fepetra takiana amin'ny fahadiovana:votoatin'ny karbônina ≥99.99%, votoatin'ny lavenona ≤5ppm, mba hahazoana antoka fa tsy misy loto miangona handoto ny sosona epitaxial amin'ny mari-pana avo.
Tombony amin'ny fahombiazana:
Fitondran-tena mafana avo lenta:Mahatratra 150W/(m・K) ny fitondrana hafanana amin'ny mari-pana ao an-trano, izay akaiky ny haavon'ny varahina ary afaka mamindra hafanana haingana.
Koefisien'ny fanitarana ambany:5×10^-6/℃ (25-1000℃), mifanaraka amin'ny substrate silicon carbide (4.2×10^-6/℃), mampihena ny triatra amin'ny sosona vokatry ny fihenjanana ara-mafana.
Fahamarinan'ny fanodinana:Tratra amin'ny alalan'ny fanodinana CNC ny fandeferana amin'ny refy ±0.05mm mba hahazoana antoka ny famehezana ny efitrano.

Fampiasana samihafa ny CVD SiC sy CVD TaC