Қисми ниммоҳӣ бо графити пӯшонидашудаи SiCҷузъи калидӣ мебошад, ки дар равандҳои истеҳсоли нимноқилҳо, махсусан барои таҷҳизоти эпитаксиалии SiC истифода мешавад. Тарроҳии сохторӣ ва хосиятҳои маводи он мустақиман сифат ва самаранокии истеҳсоли пластинаҳои эпитаксиалиро муайян мекунад.
Сохтори камераи реаксия:
Қисми ниммоҳӣ аз ду қисм иборат аст, қисмҳои болоӣ ва поёнӣ, ки ба ҳам печонида шудаанд, то камераи пӯшидаи афзоишро ташкил диҳанд, ки дар он субстрати карбиди кремний (одатан 4H-SiC ё 6H-SiC) ҷойгир карда шудааст ва афзоиши қабати эпитаксиалиро тавассути назорати дақиқи майдони ҷараёни газ (масалан, омехтаи SiH₄, C₃H₈ ва H₂) ба даст меорад.
Танзими майдони ҳарорат:
Пойгоҳи графити баландсифати тозагӣ дар якҷоягӣ бо катушкаи гармидиҳии индуксионӣ метавонад якрангии ҳарорати камераро (дар ҳудуди ± 5°C) дар ҳарорати баланди 1500-1700°C нигоҳ дорад, то мувофиқати ғафсии қабати эпитаксиалиро таъмин кунад.
Роҳнамоии ҷараёни ҳаво:
Бо тарҳрезии мавқеи вуруд ва баромади ҳаво (масалан, вуруди ҳавои паҳлӯӣ ва баромади ҳавои болоии корпуси кӯраи уфуқӣ), ҷараёни ламинарии гази реактивӣ тавассути сатҳи субстрат равона карда мешавад, то нуқсонҳои афзоишро, ки аз сабаби турбулентӣ ба вуҷуд меоянд, кам кунад.
Маводи асосӣ: графити тозагии баланд
Талабот ба тозагӣ:миқдори карбон ≥99.99%, миқдори хокистар ≤5ppm, то ки дар ҳарорати баланд ягон ифлосӣ барои олуда кардани қабати эпитаксиалӣ пайдо нашавад.
Бартариҳои иҷро:
Гузаронандагии гармии баланд:Гузаронидани гармӣ дар ҳарорати хонагӣ ба 150 Вт/(м・К) мерасад, ки ба сатҳи мис наздик аст ва метавонад гармиро зуд интиқол диҳад.
Коэффитсиенти пасти васеъшавӣ:5×10-6/℃ (25-1000℃), ки бо субстрати карбидии кремний мувофиқат мекунад (4.2×10-6/℃), кам кардани кафидани рӯйпӯш, ки аз сабаби фишори гармӣ ба вуҷуд омадааст.
Дурустии коркард:Таҳаммулпазирии андозагирии ±0.05 мм тавассути коркарди CNC барои таъмини мӯҳркунии камера ба даст оварда мешавад.
Истифодаи гуногуни CVD SiC ва CVD TaC
| Пӯшиш | Раванд | Муқоиса | Истифодаи маъмулӣ |
| CVD-SiC | Ҳарорат: 1000-1200℃ Фишор: 10-100 Торр | Сахтии HV2500, ғафсӣ 50-100um, муқовимати аълои оксидшавӣ (дар ҳарорати аз 1600℃ устувор) | Кӯраҳои эпитаксиалии универсалӣ, ки барои атмосфераҳои анъанавӣ, ба монанди гидроген ва силан мувофиқанд |
| CVD-TaC | Ҳарорат: 1600-1800℃ Фишор: 1-10 Торр | Сахтии HV3000, ғафсӣ 20-50мм, ба зангзанӣ хеле тобовар (метавонад ба газҳои зангзананда ба монанди HCl, NH₃ ва ғайра тоб оварад) | Муҳитҳои хеле зангзананда (масалан, таҷҳизоти эпитаксияи GaN ва кандакорӣ), ё равандҳои махсусе, ки ҳарорати хеле баланди 2600°C-ро талаб мекунанд |
VET Energy як истеҳсолкунандаи касбӣ аст, ки ба таҳқиқот ва рушд ва истеҳсоли маводҳои пешрафтаи баландсифат, аз қабили графит, карбиди кремний, кварс, инчунин коркарди мавод ба монанди рӯйпӯши SiC, рӯйпӯши TaC, рӯйпӯши карбонии шишагин, рӯйпӯши карбонии пиролитикӣ ва ғайра тамаркуз мекунад. Маҳсулот ба таври васеъ дар соҳаҳои фотоэлектрикӣ, нимноқилҳо, энергияи нав, металлургия ва ғайра истифода мешаванд.
Гурӯҳи техникии мо аз муассисаҳои пешбари тадқиқотии ватанӣ иборат аст ва метавонад барои шумо роҳҳои ҳалли касбии маводро пешниҳод кунад.
Афзалиятҳои VET Energy инҳоянд:
• Заводи шахсӣ ва озмоишгоҳи касбӣ;
• Сатҳҳо ва сифати покизагӣ дар соҳа пешсафанд;
• Нархи рақобатпазир ва мӯҳлати интиқоли зуд;
• Шарикиҳои сершумори соҳавӣ дар саросари ҷаҳон;
Мо шуморо барои боздид аз корхона ва лабораторияи мо дар вақти дилхоҳ истиқбол мекунем!
-
Найчаи карбидии тантал бо сифати баланд барои SiC Crys ...
-
Таксии фармоишии графити пӯшонидашудаи TaC
-
Найчаҳои бо карбиди тантал пӯшонидашуда барои SiC Crystal G...
-
Қисмҳои фармоишӣ бо рӯйпӯши карбиди танталии TaC
-
Тахтаи карбонии шишагини фармоишӣ барои лабораторӣ ...
-
Ҳасбкунандаи карбиди танталӣ барои вафли