Қисми ниммоҳаи графити SiC Капшудаҷузъи калидӣ мебошад, ки дар равандҳои истеҳсоли нимноқилҳо, махсусан барои таҷҳизоти эпитаксиалии SiC истифода мешавад. Тарҳрезии сохторӣ ва хосиятҳои моддии он бевосита сифат ва самаранокии истеҳсоли пластмассаҳои эпитаксиалиро муайян мекунанд.
Сохтмони камераи реаксия:
Қисмати ниммоҳ аз ду қисм, қисмҳои болоӣ ва поёнӣ иборат аст, ки ба ҳам печида, як камераи пӯшидаи афзоишро ташкил медиҳанд, ки дар он субстрати карбиди кремний (одатан 4H-SiC ё 6H-SiC) ҷойгир карда мешавад ва ба афзоиши қабати эпитаксиалӣ тавассути назорати дақиқи майдони ҷараёни газ (ба монанди омехтаи H₂, H₂, H₂H, CH) ноил мешавад.
Танзими майдони ҳарорат:
Пойгоҳи графити тозагии баланд дар якҷоягӣ бо печи гармидиҳии индуксионӣ метавонад якрангии ҳарорати камераро (дар ҳудуди ± 5 ° C) дар ҳарорати баланди 1500-1700 ° C нигоҳ дорад, то мувофиқати ғафсии қабати эпитаксиалиро таъмин кунад.
Роҳнамои ҷараёни ҳаво:
Бо тарҳрезии мавқеи вуруд ва баромади ҳаво (масалан, вуруди ҳавои паҳлӯ ва баромади болоии ҳавои корпуси уфуқӣ), ҷараёни реаксияи гази ламинарӣ тавассути сатҳи субстрат барои кам кардани нуқсонҳои афзоиш, ки дар натиҷаи турбулентӣ ба вуҷуд омадааст, роҳнамоӣ карда мешавад.
Маводи асосӣ: графити тозагии баланд
Талаботи тозагӣ:мазмуни карбон ≥99,99%, мазмуни хокистар ≤5ppm, то кафолат додани он, ки ҳеҷ гуна ифлосиҳо барои ифлос кардани қабати эпитаксиалӣ дар ҳарорати баланд таҳшин нашаванд.
Афзалиятҳои иҷро:
Қобилияти гармидиҳии баланд:Қобилияти гармидиҳӣ дар ҳарорати хонагӣ ба 150 Вт/(м・К) мерасад, ки ба сатҳи мис наздик аст ва метавонад гармиро зуд интиқол диҳад.
Коэффисиенти пасти васеъшавӣ:5×10-6/ ℃ (25-1000 ℃), мувофиқ ба субстрати карбиди кремний (4,2 × 10)-6/℃), кам кардани кафидани пӯшиш, ки аз фишори гармӣ ба вуҷуд омадааст.
Аниқии коркард:Таҳаммулпазирии андозагирии ± 0.05мм тавассути коркарди CNC барои таъмини мӯҳри камера ба даст оварда мешавад.
Барномаҳои дифференсионии CVD SiC ва CVD TaC
| Пӯшидани | Раванд | Муқоиса | Аризаи маъмулӣ |
| CVD-SiC | Ҳарорат: 1000-1200℃Фишор: 10-100 Torr | Сахтии HV2500, ғафсӣ 50-100um, муқовимати аълои оксидшавӣ (аз 1600 ℃ мӯътадил) | Печҳои универсалии эпитаксиалӣ, ки барои атмосфераҳои муқаррарӣ ба монанди гидроген ва силан мувофиқанд |
| CVD-TaC | Ҳарорат: 1600-1800℃Фишор: 1-10 Торр | Сахтии HV3000, ғафсӣ 20-50um, бениҳоят ба зангзанӣ тобовар (метавонад ба газҳои зангзананда ба монанди HCl, NH₃ ва ғайра тобовар бошад) | Муҳитҳои хеле зангзананда (ба монанди таҷҳизоти GaN epitaxy ва etching) ё равандҳои махсусе, ки ҳарорати хеле баланди 2600 ° C-ро талаб мекунанд |
VET Energy як истеҳсолкунандаи касбӣ мебошад, ки ба R&D ва истеҳсоли маводи пешрафтаи баландсифат, аз қабили графит, карбиди кремний, кварц, инчунин коркарди моддӣ ба монанди молидани SiC, молидани TaC, молидани карбон шишагин, молидани карбон пиролитикӣ ва ғайра равона карда шудааст.
Гурӯҳи техникии мо аз муассисаҳои олии тадқиқотии ватанӣ меояд, метавонад барои шумо ҳалли бештари моддиро пешниҳод кунад.
Афзалиятҳои VET Energy дар бар мегиранд:
• Корхонаи худ ва лабораторияи касбӣ;
• Сатҳи тозагӣ ва сифати пешбари саноат;
• Нархи рақобат & вақти расонидани Fast;
• Шарикиҳои сершумори соҳавӣ дар саросари ҷаҳон;
Мо шуморо хуш омадед, ки дар вақти дилхоҳ ба корхона ва лабораторияи мо ташриф оред!
