SiC эпитаксид зориулсан SiC бүрсэн графит хагас сарны эд анги ба угсралт

Товч тайлбар:

VET Energy нь цахиурын карбидын эпитаксиал зуухны гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн мэргэжлийн үйлдвэрлэгч, нийлүүлэгч юм. Манай хагас сарны угсралт нь дэвшилтэт CVD бүрхүүлийн технологитой хослуулсан өндөр цэвэршилттэй бал чулууг ашигладаг. Энэ нь өндөр температурт болон өндөр зэврэлттэй эпитаксиал орчинд зориулагдсан. Өндөр цэвэршилттэй бал чулуу нь эд ангид маш сайн өндөр температурт тэсвэртэй (>1600℃) болон дулааны тогтвортой байдлыг хангаж, дулааны талбайн жигд байдлыг хангадаг; CVD бүрхүүл нь CVD технологийн тусламжтайгаар гадаргуу дээр нягт хамгаалалтын давхарга үүсгэдэг бөгөөд исэлдэлтээс хамгаалах болон сийлбэрээс хамгаалах шинж чанарыг мэдэгдэхүйц сайжруулж, ашиглалтын хугацааг 3 дахин уртасгадаг.

Материал:Өндөр цэвэршилттэй бал чулуу

Эмчилгээ:CVD-SiC эсвэл CVD-TaC бүрхүүл

Тохируулга:Боломжтой

Бидэнд имэйл илгээх PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй мэдээлэл

Бүтээгдэхүүний шошго

SiC бүрсэн бал чулуун хагас сарны хэсэгнь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст, ялангуяа SiC эпитаксиал тоног төхөөрөмжид ашиглагддаг гол бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Түүний бүтцийн дизайн болон материалын шинж чанар нь эпитаксиал хавтангийн чанар, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг шууд тодорхойлдог.

Урвалын камерын бүтэц:
Хагас сарны хэсэг нь дээд ба доод гэсэн хоёр хэсгээс бүрдэх бөгөөд эдгээр нь хоорондоо бэхлэгдсэн, цахиурын карбидын субстрат (ихэвчлэн 4H-SiC эсвэл 6H-SiC)-ийг багтаасан битүү өсөлтийн камер үүсгэдэг бөгөөд хийн урсгалын талбарыг (SiH₄, C₃H₈, H₂-ийн холимог гэх мэт) нарийн хянаснаар эпитаксиаль давхаргын өсөлтийг бий болгодог.
Температурын талбайн зохицуулалт:
Өндөр цэвэршилттэй бал чулуун суурь нь индукцийн халаалтын ороомогтой хослуулан эпитаксиал давхаргын зузааны тогтвортой байдлыг хангахын тулд 1500-1700°C өндөр температурт камерын температурын жигд байдлыг (±5°C дотор) хадгалж чаддаг.
Агаарын урсгалын удирдамж:
Агаарын оролт болон гаралтын байрлалыг (жишээлбэл, хэвтээ зуухны их биеийн хажуугийн агаарын оролт болон дээд агаарын гаралт) төлөвлөх замаар урвалын хийн ламинар урсгалыг субстратын гадаргуугаар чиглүүлж, турбулент байдлаас үүдэлтэй өсөлтийн гажигийг бууруулдаг.

Үндсэн материал: өндөр цэвэршилттэй бал чулуу
Цэвэр байдлын шаардлага:нүүрстөрөгчийн агууламж ≥99.99%, үнсний агууламж ≤5ppm байх ба өндөр температурт эпитаксиал давхаргыг бохирдуулах хольц хуримтлагдахаас сэргийлнэ.
Гүйцэтгэлийн давуу талууд:
Өндөр дулаан дамжуулалт:Өрөөний температурт дулаан дамжуулалт нь 150Вт/(м・К) хүрдэг бөгөөд энэ нь зэсийн түвшинд ойрхон бөгөөд дулааныг хурдан дамжуулдаг.
Бага тэлэлтийн коэффициент:5×10^-6/℃ (25-1000℃), цахиурын карбидын суурьтай (4.2×10) таарч байна^-6/℃), дулааны стрессээс үүдэлтэй бүрхүүлийн хагарлыг бууруулдаг.
Боловсруулалтын нарийвчлал:Тасалгааны битүүмжлэлийг хангахын тулд CNC боловсруулалтаар ±0.05 мм-ийн хэмжээст хүлцэл бий болдог.

CVD SiC болон CVD TaC-ийн ялгавартай хэрэглээ

Бүрээс	Процесс	Харьцуулалт	Ердийн хэрэглээ
ЗСӨ-SiC	Температур: 1000-1200℃ Даралт: 10-100 Торр	Хатуулаг HV2500, зузаан нь 50-100мкм, маш сайн исэлдэлтийн эсэргүүцэлтэй (1600℃-аас доош тогтвортой)	Устөрөгч болон силан зэрэг уламжлалт агаар мандалд тохиромжтой универсал эпитаксиал зуух
ЗСӨ-ТаК	Температур: 1600-1800℃ Даралт: 1-10 Торр	Хатуулаг HV3000, зузаан нь 20-50 мкм, зэврэлтэнд маш тэсвэртэй (HCl, NH₃ гэх мэт идэмхий хийд тэсвэртэй)	Өндөр идэмхий орчин (GaN эпитакси болон сийлбэрийн тоног төхөөрөмж гэх мэт), эсвэл 2600°C хэт өндөр температур шаарддаг тусгай процессууд

VET Energy нь бал чулуу, цахиурын карбид, кварц зэрэг өндөр зэрэглэлийн дэвшилтэт материалын судалгаа, хөгжүүлэлт, үйлдвэрлэл, мөн SiC бүрхүүл, TaC бүрхүүл, шилэн нүүрстөрөгчийн бүрхүүл, пиролитик нүүрстөрөгчийн бүрхүүл гэх мэт материалын боловсруулалтад чиглэсэн мэргэжлийн үйлдвэрлэгч юм. Бүтээгдэхүүнийг фотоэлектрик, хагас дамжуулагч, шинэ эрчим хүч, металлурги гэх мэт салбарт өргөн ашигладаг.

Манай техникийн баг нь дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас гаралтай бөгөөд танд илүү мэргэжлийн материалын шийдлийг санал болгож чадна.

VET Energy-ийн давуу талууд нь дараахь зүйлийг агуулдаг.
• Өөрийн гэсэн үйлдвэр болон мэргэжлийн лабораторитой;
• Салбартаа тэргүүлэгч цэвэршилтийн түвшин болон чанар;
• Өрсөлдөхүйц үнэ ба хурдан хүргэлтийн хугацаа;
• Дэлхий даяар олон салбарын түншлэл;

Та манай үйлдвэр болон лабораторид хэзээ ч хамаагүй зочлохыг урьж байна!