د SiC پوښل شوی ګرافیت هاف مون برخهدا یوه مهمه برخه ده چې د سیمیکمډکټر تولید پروسو کې کارول کیږي، په ځانګړې توګه د SiC ایپیټیکسیل تجهیزاتو لپاره. د دې ساختماني ډیزاین او مادي ملکیتونه په مستقیم ډول د ایپیټیکسیل ویفرونو کیفیت او تولید موثریت ټاکي.
د غبرګون خونې جوړښت:
د نیمه سپوږمۍ برخه له دوو برخو څخه جوړه شوې ده، پورتنۍ او ښکته برخې، چې د تړل شوي ودې چیمبر جوړولو لپاره یوځای تړل شوي، کوم چې د سیلیکون کاربایډ سبسټریټ (معمولا 4H-SiC یا 6H-SiC) ځای په ځای کوي او د ګاز جریان ساحه په دقیق ډول کنټرولولو سره د اپیټیکسیل طبقې وده ترلاسه کوي (لکه د SiH₄، C₃H₈، او H₂ مخلوط).
د تودوخې ساحې تنظیم:
د لوړ پاکوالي ګرافایټ اساس د انډکشن تودوخې کویل سره یوځای کولی شي د چیمبر د تودوخې یوشانوالی (د ± 5 درجو سانتي ګراد دننه) د 1500-1700 درجو سانتي ګراد په لوړه تودوخه کې وساتي ترڅو د ایپیټیکسیل طبقې ضخامت ثبات ډاډمن کړي.
د هوا د جریان لارښوونه:
د هوا د داخلېدو او وتلو د موقعیت په ډیزاین کولو سره (لکه د افقي فرنس باډي د اړخ هوا داخلېدو او پورته هوا وتلو)، د عکس العمل ګاز لامینار جریان د سبسټریټ سطحې له لارې رهبري کیږي ترڅو د اضطراب له امله رامینځته شوي ودې نیمګړتیاوې کمې کړي.
د بنسټ مواد: لوړ پاکوالی ګرافایټ
د پاکوالي اړتیاوې:د کاربن محتوا ≥99.99٪، د ایش محتوا ≤5ppm، ترڅو ډاډ ترلاسه شي چې هیڅ ناپاکۍ د لوړې تودوخې په وخت کې د اپیټیکسیل طبقې ککړولو لپاره نه راځي.
د فعالیت ګټې:
لوړ حرارتي چالکتیا:د خونې په تودوخه کې د تودوخې چالکتیا 150W/(m・K) ته رسیږي، کوم چې د مسو کچې ته نږدې دی او کولی شي په چټکۍ سره تودوخه انتقال کړي.
د ټیټ انبساط ضریب:۵×۱۰-6/ ℃ (25-1000 ℃)، د سیلیکون کاربایډ سبسټریټ سره سمون خوري (4.2 × 10-6/℃)، د تودوخې فشار له امله د پوښ د درزونو کمول.
د پروسس دقت:د CNC ماشین کولو له لارې د ±0.05mm ابعادي زغم ترلاسه کیږي ترڅو د چیمبر مهر کول ډاډمن شي.
د CVD SiC او CVD TaC مختلف غوښتنلیکونه
| کوټ کول | پروسه | پرتله کول | عادي غوښتنلیک |
| د CVD-SiC | د تودوخې درجه: ۱۰۰۰-۱۲۰۰℃ فشار: ۱۰-۱۰۰ تور | سختۍ HV2500، ضخامت 50-100um، د اکسیډیشن غوره مقاومت (د 1600 ℃ څخه ښکته مستحکم) | نړیوال اپیتیکسیل فرنسونه، د دودیزو اتموسفیرونو لکه هایدروجن او سیلین لپاره مناسب دي |
| سي وي ډي-ټي سي | د تودوخې درجه: ۱۶۰۰-۱۸۰۰℃ فشار: ۱-۱۰ تور | سختوالی HV3000، ضخامت 20-50um، خورا د زنګ په وړاندې مقاومت لري (کولی شي د زنګ وهونکو ګازونو لکه HCl، NH₃، او نورو سره مقاومت وکړي) | ډېر زنګ وهونکي چاپیریالونه (لکه د GaN ایپیټیکسي او ایچنګ تجهیزات)، یا ځانګړي پروسې چې د 2600 درجو سانتي ګراد خورا لوړې تودوخې ته اړتیا لري |
VET انرژي یو مسلکي تولید کونکی دی چې د لوړ کیفیت لرونکي پرمختللي موادو لکه ګرافایټ، سیلیکون کاربایډ، کوارټز، او همدارنګه د SiC کوټینګ، TaC کوټینګ، شیشې کاربن کوټینګ، پیرولیټیک کاربن کوټینګ، او داسې نورو په څیر د موادو درملنې باندې تمرکز کوي. دا محصولات په پراخه کچه په فوتوولټیک، سیمیکمډکټر، نوې انرژي، فلزاتو او نورو کې کارول کیږي.
زموږ تخنیکي ټیم د لوړ پوړو کورنیو څیړنیزو ادارو څخه راځي، کولی شي ستاسو لپاره ډیر مسلکي مادي حلونه چمتو کړي.
د VET انرژۍ ګټې په لاندې ډول دي:
• خپله فابریکه او مسلکي لابراتوار ولري؛
• د صنعت مخکښ پاکوالي کچه او کیفیت؛
• سیالي قیمت او د سپارلو چټک وخت؛
• په ټوله نړۍ کې ګڼ شمېر صنعتي ملګرتیاوې؛
موږ تاسو ته ښه راغلاست وایو چې هر وخت زموږ فابریکه او لابراتوار وګورئ!
