SiC ආලේපිත ග්රැෆයිට් අර්ධ සඳ කොටසඅර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලීන්හි, විශේෂයෙන් SiC එපිටැක්සියල් උපකරණ සඳහා භාවිතා කරන ප්රධාන අංගයකි. එහි ව්යුහාත්මක සැලසුම සහ ද්රව්යමය ගුණාංග එපිටැක්සියල් වේෆර්වල ගුණාත්මකභාවය සහ නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සෘජුවම තීරණය කරයි.
ප්රතික්රියා කුටීර ඉදිකිරීම:
අර්ධ සඳ කොටස ඉහළ සහ පහළ කොටස් දෙකකින් සමන්විත වන අතර, ඒවා එකට බැඳ ඇති අතර සංවෘත වර්ධන කුටියක් සාදයි. එය සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරයට (සාමාන්යයෙන් 4H-SiC හෝ 6H-SiC) ඉඩ සලසන අතර වායු ප්රවාහ ක්ෂේත්රය (SiH₄, C₃H₈ සහ H₂ මිශ්රණයක් වැනි) නිවැරදිව පාලනය කිරීමෙන් එපිටැක්සියල් ස්ථර වර්ධනය ලබා ගනී.
උෂ්ණත්ව ක්ෂේත්ර නියාමනය:
ප්රේරක තාපන දඟරය සමඟ ඒකාබද්ධ වූ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් මිනිරන් පදනම, එපිටැක්සියල් ස්ථරයේ ඝනකමේ අනුකූලතාව සහතික කිරීම සඳහා 1500-1700°C ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී කුටීර උෂ්ණත්ව ඒකාකාරිත්වය (±5°C ඇතුළත) පවත්වා ගත හැකිය.
වායු ප්රවාහ මාර්ගෝපදේශය:
වායු ඇතුල්වීමේ සහ පිටවීමේ පිහිටීම (තිරස් උදුන ශරීරයේ පැති වායු ඇතුල්වීම සහ ඉහළ වායු පිටවීම වැනි) සැලසුම් කිරීමෙන්, කැළඹිලි නිසා ඇතිවන වර්ධන දෝෂ අවම කිරීම සඳහා ප්රතික්රියා වායු ලැමිනාර් ප්රවාහය උපස්ථර මතුපිට හරහා මෙහෙයවනු ලැබේ.
මූලික ද්රව්යය: අධි-පිරිසිදු මිනිරන්
පිරිසිදුකම සඳහා අවශ්යතා:ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී එපිටැක්සියල් ස්ථරය දූෂණය කිරීම සඳහා කිසිදු අපද්රව්යයක් අවක්ෂේපණය නොවන බව සහතික කිරීම සඳහා කාබන් ප්රමාණය ≥99.99%, අළු ප්රමාණය ≤5ppm.
කාර්ය සාධන වාසි:
ඉහළ තාප සන්නායකතාවය:කාමර උෂ්ණත්වයේ දී තාප සන්නායකතාවය 150W/(m・K) දක්වා ළඟා වන අතර එය තඹ මට්ටමට ආසන්න වන අතර ඉක්මනින් තාපය මාරු කළ හැකිය.
අඩු ප්රසාරණ සංගුණකය:5 × 10-6/℃ (25-1000℃), සිලිකන් කාබයිඩ් උපස්ථරයට ගැලපේ (4.2×10-6/℃), තාප ආතතිය නිසා ආලේපනයේ ඉරිතැලීම් අඩු කරයි.
සැකසුම් නිරවද්යතාවය:කුටියේ මුද්රා තැබීම සහතික කිරීම සඳහා CNC යන්ත්රෝපකරණ හරහා ± 0.05mm මාන ඉවසීමක් ලබා ගනී.
CVD SiC සහ CVD TaC වල වෙනස් යෙදුම්
| ආලේපනය | ක්රියාවලිය | සංසන්දනය | සාමාන්ය යෙදුම |
| CVD-SiC | උෂ්ණත්වය: 1000-1200℃පීඩනය: 10-100 ටොර් | දෘඪතාව HV2500, ඝණකම 50-100um, විශිෂ්ට ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය (1600℃ ට අඩු ස්ථායී) | හයිඩ්රජන් සහ සිලේන් වැනි සාම්ප්රදායික වායුගෝල සඳහා සුදුසු විශ්වීය එපිටැක්සියල් උදුන් |
| CVD-TaC | උෂ්ණත්වය: 1600-1800℃පීඩනය: 1-10 ටොර් | දෘඪතාව HV3000, ඝණකම 20-50um, අතිශයින් විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන (HCl, NH₃, ආදිය වැනි විඛාදන වායුවලට ඔරොත්තු දිය හැකිය) | අධික ලෙස විඛාදන පරිසරයන් (GaN එපිටැක්සි සහ කැටයම් උපකරණ වැනි), හෝ 2600°C ක අතිශය ඉහළ උෂ්ණත්වයක් අවශ්ය වන විශේෂ ක්රියාවලීන් |
VET Energy යනු ග්රැෆයිට්, සිලිකන් කාබයිඩ්, ක්වාර්ට්ස් වැනි උසස් ද්රව්ය පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන කටයුතු මෙන්ම SiC ආලේපනය, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, පයිරොලිටික් කාබන් ආලේපනය වැනි ද්රව්ය ප්රතිකාර කෙරෙහි අවධානය යොමු කරන වෘත්තීය නිෂ්පාදකයෙකි. නිෂ්පාදන ප්රකාශ වෝල්ටීයතා, අර්ධ සන්නායක, නව ශක්තිය, ලෝහ විද්යාව ආදියෙහි බහුලව භාවිතා වේ.
අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළම දේශීය පර්යේෂණ ආයතනවලින් පැමිණෙන අතර, ඔබට වඩාත් වෘත්තීය ද්රව්යමය විසඳුම් ලබා දිය හැකිය.
VET බලශක්ති වාසි අතර:
• තමන්ගේම කර්මාන්ත ශාලාවක් සහ වෘත්තීය රසායනාගාරයක්;
• කර්මාන්තයේ ප්රමුඛ පිරිසිදු මට්ටම් සහ ගුණාත්මකභාවය;
• තරඟකාරී මිල සහ වේගවත් බෙදාහැරීමේ කාලය;
• ලොව පුරා බහු කර්මාන්ත හවුල්කාරිත්වයන්;
ඕනෑම වේලාවක අපගේ කර්මාන්ත ශාලාව සහ රසායනාගාරය නැරඹීමට අපි ඔබව සාදරයෙන් පිළිගනිමු!
