SiC लेपित ग्रेफाइट हाफमून पार्टहा सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत वापरला जाणारा एक प्रमुख घटक आहे, विशेषतः SiC एपिटॅक्सियल उपकरणांसाठी. त्याची स्ट्रक्चरल रचना आणि मटेरियल गुणधर्म थेट एपिटॅक्सियल वेफर्सची गुणवत्ता आणि उत्पादन कार्यक्षमता निश्चित करतात.
प्रतिक्रिया कक्ष बांधकाम:
अर्धचंद्राचा भाग दोन भागांनी बनलेला असतो, वरचा आणि खालचा भाग, जे एकत्र बांधून एक बंद वाढ कक्ष तयार करतात, जे सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेट (सामान्यतः 4H-SiC किंवा 6H-SiC) सामावून घेते आणि वायू प्रवाह क्षेत्र (जसे की SiH₄, C₃H₈ आणि H₂ यांचे मिश्रण) अचूकपणे नियंत्रित करून एपिटॅक्सियल थर वाढ साध्य करते.
तापमान क्षेत्र नियमन:
इंडक्शन हीटिंग कॉइलसह एकत्रित केलेला उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट बेस, एपिटॅक्सियल लेयर जाडीची सुसंगतता सुनिश्चित करण्यासाठी १५००-१७००°C च्या उच्च तापमानात चेंबर तापमान एकरूपता (±५°C च्या आत) राखू शकतो.
वायुप्रवाह मार्गदर्शन:
एअर इनलेट आणि आउटलेटची स्थिती (जसे की क्षैतिज फर्नेस बॉडीच्या बाजूच्या एअर इनलेट आणि वरच्या एअर आउटलेट) डिझाइन करून, अशांततेमुळे होणारे वाढीचे दोष कमी करण्यासाठी प्रतिक्रिया वायू लॅमिनार प्रवाह सब्सट्रेट पृष्ठभागावरून निर्देशित केला जातो.
बेस मटेरियल: उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट
शुद्धतेच्या आवश्यकता:उच्च तापमानात एपिटॅक्सियल थर दूषित करण्यासाठी कोणत्याही अशुद्धतेचा उपसर्ग होणार नाही याची खात्री करण्यासाठी कार्बनचे प्रमाण ≥99.99%, राखेचे प्रमाण ≤5ppm.
कामगिरीचे फायदे:
उच्च औष्णिक चालकता:खोलीच्या तपमानावर थर्मल चालकता 150W/(m・K) पर्यंत पोहोचते, जी तांब्याच्या पातळीच्या जवळ असते आणि उष्णता जलद हस्तांतरित करू शकते.
कमी विस्तार गुणांक:५×१०-6/℃ (२५-१०००℃), सिलिकॉन कार्बाइड सब्सट्रेटशी जुळणारे (४.२×१०-6/℃), थर्मल स्ट्रेसमुळे होणाऱ्या कोटिंगच्या क्रॅकिंगला कमी करते.
प्रक्रिया अचूकता:चेंबर सील करणे सुनिश्चित करण्यासाठी सीएनसी मशीनिंगद्वारे ±0.05 मिमीची मितीय सहनशीलता प्राप्त केली जाते.
CVD SiC आणि CVD TaC चे भिन्न अनुप्रयोग
| लेप | प्रक्रिया | तुलना | ठराविक अनुप्रयोग |
| सीव्हीडी-एसआयसी | तापमान: १०००-१२००℃दाब: १०-१०० टॉर | कडकपणा HV2500, जाडी 50-100um, उत्कृष्ट ऑक्सिडेशन प्रतिरोध (1600℃ पेक्षा कमी स्थिर) | हायड्रोजन आणि सिलेन सारख्या पारंपारिक वातावरणासाठी योग्य, युनिव्हर्सल एपिटॅक्सियल फर्नेसेस |
| सीव्हीडी-टीएसी | तापमान: १६००-१८००℃दाब: १-१० टॉर | कडकपणा HV3000, जाडी 20-50um, अत्यंत गंज-प्रतिरोधक (HCl, NH₃, इत्यादी गंजणाऱ्या वायूंचा सामना करू शकते) | अत्यंत संक्षारक वातावरण (जसे की GaN एपिटॅक्सी आणि एचिंग उपकरणे), किंवा 2600°C च्या अति-उच्च तापमानाची आवश्यकता असलेल्या विशेष प्रक्रिया |
व्हीईटी एनर्जी ही एक व्यावसायिक उत्पादक आहे जी ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड, क्वार्ट्ज सारख्या उच्च दर्जाच्या प्रगत साहित्यांच्या संशोधन आणि विकास आणि उत्पादनावर लक्ष केंद्रित करते, तसेच SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलिटिक कार्बन कोटिंग इत्यादी मटेरियल ट्रीटमेंटवर लक्ष केंद्रित करते. ही उत्पादने फोटोव्होल्टेइक, सेमीकंडक्टर, नवीन ऊर्जा, धातूशास्त्र इत्यादींमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरली जातात.
आमची तांत्रिक टीम शीर्ष देशांतर्गत संशोधन संस्थांकडून येते, तुमच्यासाठी अधिक व्यावसायिक साहित्य उपाय प्रदान करू शकते.
व्हीईटी एनर्जीच्या फायद्यांमध्ये हे समाविष्ट आहे:
• स्वतःचा कारखाना आणि व्यावसायिक प्रयोगशाळा;
• उद्योगातील अग्रगण्य शुद्धता पातळी आणि गुणवत्ता;
• स्पर्धात्मक किंमत आणि जलद वितरण वेळ;
• जगभरातील अनेक उद्योग भागीदारी;
आमच्या कारखान्याला आणि प्रयोगशाळेला कधीही भेट देण्यासाठी आम्ही तुमचे स्वागत करतो!
