SiC Ti a bo Lẹẹdi Halfmoon Apájẹ paati bọtini ti a lo ninu awọn ilana iṣelọpọ semikondokito, pataki fun ohun elo epitaxial SiC. Apẹrẹ igbekalẹ rẹ ati awọn ohun-ini ohun elo taara pinnu didara ati ṣiṣe iṣelọpọ ti awọn wafers epitaxial.
Itumọ iyẹwu idahun:
Apakan oṣupa idaji jẹ awọn ẹya meji, awọn apakan oke ati isalẹ, eyiti a so pọ lati ṣe iyẹwu idagbasoke ti o ni pipade, eyiti o gba sobusitireti silikoni carbide (nigbagbogbo 4H-SiC tabi 6H-SiC) ati ṣaṣeyọri idagbasoke Layer epitaxial nipasẹ iṣakoso ni iṣakoso gangan aaye ṣiṣan gaasi (gẹgẹbi adalu SiH₄, H₄, C).
Ilana aaye iwọn otutu:
Ipilẹ lẹẹdi mimọ-giga ni idapo pẹlu okun alapapo fifa irọbi le ṣetọju iṣọkan iwọn otutu iyẹwu (laarin ± 5 ° C) ni iwọn otutu giga ti 1500-1700 ° C lati rii daju aitasera ti sisanra Layer epitaxial.
Itọsọna afẹfẹ:
Nipa sisọ ipo ti agbawọle afẹfẹ ati iṣan (gẹgẹbi ẹnu-ọna afẹfẹ ẹgbẹ ati itọjade afẹfẹ oke ti ara ileru petele), ṣiṣan laminar gaasi ifaseyin jẹ itọsọna nipasẹ dada sobusitireti lati dinku awọn abawọn idagbasoke ti o ṣẹlẹ nipasẹ rudurudu.
Ohun elo mimọ: graphite ti nw ga
Awọn ibeere mimọ:erogba akoonu ≥99.99%, eeru akoonu ≤5ppm, lati rii daju wipe ko si impurities ti wa ni precipitated lati concomates awọn epitaxial Layer ni ga awọn iwọn otutu.
Awọn anfani iṣẹ ṣiṣe:
Imudara igbona giga:Imudara igbona ni iwọn otutu yara de 150W / (m・K), eyiti o sunmọ ipele ti bàbà ati pe o le gbe ooru lọ ni kiakia.
Imugboroosi kekere:5×10-6/ ℃ (25-1000 ℃), ibaamu awọn ohun alumọni carbide sobusitireti (4.2× 10)-6/ ℃), idinku fifọ ti a bo ti o ṣẹlẹ nipasẹ aapọn gbona.
Ṣiṣe deedee:Ifarada onisẹpo ti ± 0.05mm ti waye nipasẹ ṣiṣe ẹrọ CNC lati rii daju pe odidi ti iyẹwu naa.
Awọn ohun elo iyatọ ti CVD SiC ati CVD TaC
| Aso | Ilana | Ifiwera | Ohun elo aṣoju |
| CVD-SiC | Iwọn otutu: 1000-1200 ℃ Titẹ: 10-100 Torr | líle HV2500, sisanra 50-100um, o tayọ ifoyina resistance (iduroṣinṣin ni isalẹ 1600 ℃) | Awọn ileru epitaxial gbogbo agbaye, o dara fun awọn oju-aye aṣa gẹgẹbi hydrogen ati silane |
| CVD-TaC | Iwọn otutu: 1600-1800 ℃ Titẹ: 1-10 Torr | HV3000 lile lile, sisanra 20-50um, sooro ipata pupọ (le duro awọn gaasi ipata bii HCl, NH₃, ati bẹbẹ lọ) | Awọn agbegbe ibajẹ pupọ (gẹgẹbi GaN epitaxy ati ohun elo etching), tabi awọn ilana pataki ti o nilo awọn iwọn otutu giga-giga ti 2600°C |
Agbara VET jẹ olupese ọjọgbọn ti o fojusi lori R&D ati iṣelọpọ ti awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju giga-giga gẹgẹbi graphite, silikoni carbide, quartz, ati itọju ohun elo bii ibora SiC, ibora TaC, ideri carbon glassy, pyrolytic carbon bo, ati bẹbẹ lọ.
Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, le pese awọn solusan ohun elo alamọdaju diẹ sii fun ọ.
Awọn anfani Agbara VET pẹlu:
• Ti ara factory ati awọn ọjọgbọn yàrá;
• Awọn ipele mimọ ti ile-iṣẹ ati didara;
• Idije owo & Yara ifijiṣẹ akoko;
• Awọn ajọṣepọ ile-iṣẹ pupọ ni agbaye;
A ṣe itẹwọgba fun ọ lati wo ile-iṣẹ wa ati ile-iṣẹ ni eyikeyi akoko!
