Apá Halfmoon Graphite ti a bo SiCjẹ́ kókó pàtàkì tí a ń lò nínú iṣẹ́ ìṣẹ̀dá semiconductor, pàápàá jùlọ fún àwọn ohun èlò epitaxial SiC. Apẹrẹ ìṣètò rẹ̀ àti àwọn ohun èlò rẹ̀ ló ń pinnu dídára àti ìṣelọ́pọ́ àwọn wafer epitaxial.
Ìkọ́lé yàrá ìṣeṣe:
Apá idaji oṣupa ni a ṣe ní apá méjì, àwọn apá òkè àti ìsàlẹ̀, tí a so pọ̀ láti ṣẹ̀dá yàrá ìdàgbàsókè tí a ti sé, èyí tí ó gba ohun èlò silicon carbide (tí ó sábà máa ń jẹ́ 4H-SiC tàbí 6H-SiC) tí ó sì ń ṣe àṣeyọrí ìdàgbàsókè ìpele epitaxial nípa ṣíṣàkóso pápá ìṣàn gaasi (bí àdàpọ̀ SiH₄, C₃H₈, àti H₂).
Ìlànà fún àwọn ibi ìgbóná otutu:
Ipìlẹ̀ graphite mímọ́ tó ga jùlọ tí a so pọ̀ mọ́ coil gbígbóná induction lè mú kí ìwọ̀n otútù yàrá náà dọ́gba (láàrín ±5°C) ní ìwọ̀n otútù gíga ti 1500-1700°C láti rí i dájú pé ìwọ̀n ìpele epitaxial náà dúró ṣinṣin.
Itọnisọna fun sisan afẹfẹ:
Nípa ṣíṣe àwòrán ipò tí afẹ́fẹ́ ń gbà wọlé àti ìjáde (bíi ìwọ̀ afẹ́fẹ́ ẹ̀gbẹ́ àti ìjáde afẹ́fẹ́ òkè ti ara iná ààrò), a máa darí ìṣàn gaasi laminar nípasẹ̀ ojú ilẹ̀ láti dín àwọn àbùkù ìdàgbàsókè tí ìrúkèrúdò ń fà kù.
Ohun elo ipilẹ: graphite ti o ni mimọ giga
Awọn ibeere mimọ:akoonu erogba ≥99.99%, akoonu eeru ≤5ppm, lati rii daju pe ko si awọn idoti ti o fa lati ba fẹlẹfẹlẹ epitaxial jẹ ni iwọn otutu giga.
Awọn anfani iṣẹ ṣiṣe:
Agbara igbona giga:Ìwọ̀n ìgbóná ooru ní iwọ̀n otutu yàrá dé 150W/(m・K), èyí tí ó súnmọ́ ìwọ̀n bàbà tí ó sì lè gbé ooru lọ kíákíá.
Ìsọdipúpọ̀ ìfàsẹ́yìn kékeré:5×10-6/℃ (25-1000℃), tó bá ohun èlò ìṣàlẹ̀ silikoni carbide mu (4.2×10) mu.-6/℃), dín ìfọ́ ìbòrí tí ìdààmú ooru fà kù.
Ipese iṣiṣẹ deedee:A ṣe aṣeyọri ifarada iwọn ti ± 0.05mm nipasẹ ẹrọ CNC lati rii daju pe a fi edidi yara naa.
Awọn ohun elo iyatọ ti CVD SiC ati CVD TaC
| Àwọ̀ | Ilana | Ifiwewe | Ohun elo deede |
| CVD-SiC | Iwọn otutu: 1000-1200℃Iwọn titẹ: 10-100 Torr | Líle HV2500, sisanra 50-100um, resistance oxidation ti o dara julọ (duro ni isalẹ 1600℃) | Àwọn ìléru epitaxial gbogbogbòò, tó dára fún àwọn afẹ́fẹ́ ìbílẹ̀ bíi hydrogen àti silane |
| CVD-TaC | Iwọn otutu: 1600-1800℃Iwọn titẹ: 1-10 Torr | Líle HV3000, nínípọn 20-50um, ó lè kojú ìbàjẹ́ gidigidi (ó lè kojú àwọn gáàsì ìbàjẹ́ bíi HCl, NH₃, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ) | Àwọn àyíká oníbàjẹ́ púpọ̀ (bíi GaN epitaxy àti ẹ̀rọ ìfọṣọ), tàbí àwọn ìlànà pàtàkì tí ó nílò àwọn iwọ̀n otútù gíga tó ga jùlọ ti 2600°C |
VET Energy jẹ́ olùpèsè ọ̀jọ̀gbọ́n tí ó ń dojúkọ ìwádìí àti ìṣẹ̀dá àwọn ohun èlò tó ga jùlọ bíi graphite, silicon carbide, quartz, àti ìtọ́jú ohun èlò bíi SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Àwọn ọjà náà ni a ń lò fún photovoltaic, semiconductor, new energy, metallurgy, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.
Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile oke, o le pese awọn solusan ohun elo ọjọgbọn diẹ sii fun ọ.
Awọn anfani Agbara VET pẹlu:
• Ilé iṣẹ́ tirẹ̀ àti yàrá ìwádìí ọ̀jọ̀gbọ́n;
• Awọn ipele mimọ ati didara ti o jẹ asiwaju ile-iṣẹ;
• Iye owo idije & Akoko ifijiṣẹ yara;
• Ọpọlọpọ ajọṣepọ ile-iṣẹ ni agbaye;
A gba yin laye lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ ati yàrá wa nigbakugba!
